Многокоординатные платформы перемещения
Многие вакуумные приложения, такие как перенос образцов, диагностическое позиционирование по лучу и позиционирование образцов для анализа, требуют точных манипуляций по одной или нескольким осям. Конструкция вакуумных манипуляторов Fermi Instruments обеспечивает надежные и точные решения. Манипуляторы могут использоваться отдельно или в сочетании с механизмами линейного перемещения и приводами вращения с магнитной связью для создания сложных манипуляторов, обеспечивающих вплоть до шести осей независимого движения.
Большой прецизионный трехкоординатный привод перемещения