Высокоточный полноразмерный трехкоординатный позиционирующий стол обеспечивает плавное перемещение в трех направлениях X, Y, Z в условиях сверхвысокого вакуума, обладает высокой точностью перемещения. Данная платформа использует линейные направляющие и высокоточные шарико-винтовые пары. Конструкция отличается прочностью и надежностью. Серводвигатель с лазерным энкодером обеспечивают субмикронную точность и обратную связь в управлении перемещением. Устройство обеспечивает высокую точность, выдерживает высокую нагрузку, а угол подвижного фланца регулируется в пределах ±3 o.
Основные особенности
- Диапазон рабочих давлений: 1 бар ~ 10-11 мбар
- Максимальная температура отжига: 150 oC (после снятия двигателя и сопутствующих компонентов)
- Материал сильфона: SS316L
- Проходное отверстие: 102 мм
- Верхний подвижный фланец: CF100 с проходными отверстиями
- Нижний установочный фланец: CF150 с резьбовыми отверстиями
- Разрешение по осям XYZ: 0.2 мкм
- Сервопривод с лазерным энкодером
- Возможно изготовление под заказ
Технические характеристики
|
Серия |
HFXYZ |
|
Верхний подвижный фланец |
CF100 |
|
Размер фланца (мм) |
152 |
|
Нижний установочный фланец |
CF150 |
|
Размер фланца (мм) |
203 |
|
Перемещение XY (мм) |
±12.5 |
|
Перемещение Z (мм) |
300 |
|
Удлинение A (мм) |
710 |
|
Разжатый А (мм) |
410 |
|
Сжатый B (мм) |
815 |
|
Общий размер C (мм) |
|
|
Привод Z |
Сервопривод |
|
Привод XY |
Сервопривод |
|
Модель |
HFXYZ150Z300M-1055 |