Полноразмерный 3D манипулятор обеспечивает перемещение внутренних компонентов устройства по осям XYZ. Перемещение по осям X и Y осуществляется с помощью шагового двигателя и маховика, обеспечивая высокую точность и плавность перемещения. Перемещение по оси Z реализовано на основе шарико-винтового механизма с функцией самоблокировки. Привод по оси Z осуществляется шаговым двигателем.
Основные особенности
- Диапазон рабочих давлений: 1 бар ~ 10-11 мбар
- Максимальная температура отжига: 150 oC (после снятия двигателя и сопутствующих компонентов)
- Материал сильфона: SS316L
- Проходное отверстие: 102 мм
- Верхний подвижный фланец: CF100 с проходными отверстиями
- Нижний установочный фланец: CF150 с резьбовыми отверстиями
- Привод по осям X и Y: шаговый двигатель (разрешение ≤1 мкм, точность ≤10 мкм) + маховик
- Привод по оси Z: шаговый двигатель (разрешение ≤1 мкм, точность ≤10 мкм)
- Возможно изготовление под заказ
Технические характеристики
|
Серия |
CFXYZ |
||
|
Верхний подвижный фланец |
CF100 |
||
|
Размер фланца (мм) |
152 |
||
|
Нижний установочный фланец |
CF150 |
||
|
Размер фланца (мм) |
203 |
||
|
Перемещение XY (мм) |
±12.5 |
||
|
Перемещение Z (мм) |
200 |
350 |
500 |
|
Разжатый А (мм) |
508 |
658 |
808 |
|
Сжатый B (мм) |
308 |
308 |
308 |
|
Общий размер C (мм) |
565 |
715 |
865 |
|
Привод Z |
Шаговый двигатель |
||
|
Привод XY |
Маховик+шаговый двигатель |
||
|
Модель |
CFXYZ150Z200M-1083 |
CFXYZ150Z350M-1083 |
CFXYZ150Z500M-1083 |