Манипулятор 3D обеспечивает перемещение компонентов в вакууме по осям XYZ. Осевое перемещение по XY выполняется с помощью микрометрических головок, а по оси Z — с помощью ручного маховика с функцией самоблокировки. Благодаря своей надежной конструкции, высокой точности и небольшим размерам данный манипулятор подходит для широкого круга применений.
Основные особенности
- Диапазон рабочих давлений: 1 бар ~ 10-11 мбар
- Максимальная температура отжига: 150 oC
- Материал сильфона: SS316L
- Верхний подвижный фланец: CF63 с проходными отверстиями
- Нижний установочный фланец: CF100 с резьбовыми отверстиями
- Привод: ручной
- Возможно изготовление под заказ
Технические характеристики
|
Серия |
MXYZ |
|||
|
Верхний подвижный фланец |
CF63 |
|||
|
Размер фланца (мм) |
114 |
|||
|
Нижний установочный фланец |
CF100 |
|||
|
Размер фланца (мм) |
152 |
|||
|
Перемещение XY (мм) |
±7.5 |
|||
|
Перемещение Z (мм) |
100 |
200 |
||
|
Разжатый А (мм) |
399 |
499 |
||
|
Сжатый B (мм) |
299 |
299 |
||
|
Общий размер C (мм) |
463 |
563 |
||
|
Привод Z |
Шаговый двигатель + ручной привод |
Шаговый двигатель + ручной привод |
||
|
Привод XY |
Микрометрическая головка |
Шаговый двигатель |
Микрометрическая головка |
Шаговый двигатель |
|
Модель |
MXYZ100Z100S-0108 |
MXYZ100Z100S-0128 |
MXYZ100Z200S-0108 |
MXYZ100Z200S-0128 |