Компактный манипулятор 3D обеспечивает перемещение компонентов в вакууме по осям XYZ. Осевое перемещение по XY выполняется с помощью микрометрических головок, а по оси Z — с помощью ручного маховика с функцией самоблокировки. Благодаря своей надежной конструкции, высокой точности и небольшим размерам данный манипулятор подходит для широкого круга применений.
Основные особенности
- Диапазон рабочих давлений: 1 бар ~ 10-11 мбар
- Максимальная температура отжига: 150 oC
- Материал сильфона: SS316L
- Верхний подвижный фланец: CF35 с резьбовыми отверстиями
- Нижний установочный фланец: CF63 с проходными отверстиями
- Привод: ручной
- Возможно изготовление под заказ
Технические характеристики
|
Серия |
SXYZ |
||
|
Верхний подвижный фланец |
CF35 |
||
|
Размер фланца (мм) |
70 |
||
|
Нижний установочный фланец |
CF63 |
||
|
Размер фланца (мм) |
114 |
||
|
Привод XYZ |
Ручной |
||
|
Перемещение XY (мм) |
±12.5 |
||
|
Перемещение Z (мм) |
75 |
100 |
150 |
|
Разжатый A (мм) |
240 |
265 |
315 |
|
Сжатый B (мм) |
165 |
|
|
|
Общий размер C (мм) |
255 |
280 |
330 |
|
Вес (кг) |
10.2 |
10.5 |
10.9 |
|
Модель |
SXYZ63Z75 |
SXYZ63Z100 |
SXYZ63Z150 |