Сухие форвакуумные насосы

Надежные средства откачки для производства микроэлектроники

Современные средства откачки

Компания Grand Hitek Group со штаб-квартирой в Пекине основана в 2010 году и является производителем современного вакуумного оборудования. Уверенно занимает лидирующие позиции в КНР на рынке вакуумных насосов и сухих вакуумных систем для применений в полупроводниковой промышленности. Продукция компании также поставляется на международные рынки.

Grand Hitek

Cерия GLR

Безмасляные вакуумные насосы Рутса серии GLR, предназначены для "light" процессов откачки шлюзовых камер, установок вакуумного осаждения и плазменной очистки

Cерия GMR

Безмасляные вакуумные насосы Рутса с многоступенчатым механизмом серии GMR, предназначены для "medium" процессов плазмохимического травления

Cерия GHC-A

Безмасляные вакуумные насосы серии GHC-A с одним многоступенчатым когтевым механизмом, предназначены для тяжелых "harsh" процессов PECVD, CVD, MOCVD

Cерия GHC-AA

Безмасляные вакуумные насосы серии GHC-A с многоступенчатым когтевым механизмом и механическим бустером, предназначены для тяжелых "harsh" процессов PECVD, CVD, MOCVD

Top