Сухие насосы серии GHC для тяжелых условий производства полупроводников и электроники, обладают высокой пылеулавливающей способностью и являются лучшим выбором для применения в сложных технологических процессах, отличаются высокой надежностью и низкой стоимостью эксплуатации.
Насосы серии GHC включают два откачных блока - многоступенчатый кулачково-зубчатый механизм и механический бустер.
Основные особенности
- оптимизированный принцип работы кулачково-зубчатого механизма насоса
- многоуровневое последовательное сжатие
- работа с запыленными средами
- прочные и долговечные антикоррозийные материалы
- инновационные покрытия ротора и уникальная обработка поверхности
- являются хорошей заменой насосам Edwards и Pfeiffer
Технические характеристики
| Модель | GHC-200 | GHC-500 | GHC-600 | GHC-600Т | GHC-1200Т | GHC-1800Т | GHC-3000Т | GHC-5000Т | GHC-6000Т |
| Скорость откачки (м3/ч) | 220 | 510 | 680 | 650 | 1250 | 1850 | 3300 | 4480 | 5500 |
| Предельное давление (мбар) | 0,02 | 0,02 | 0,005 | 0,003 | 0,005 | 0,005 | 0,005 | 0,005 | 0,005 |
| Входной фланец (ISO) | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 160 | 160 | 200 | 250 |
| Выпускной фланец (NW) | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 |
| Напряжение питания (В) | 208/380 | 208/380 | 208/380 | 208/380 | 208/380 | 208/380 | 208/380 | 208/380 | 208/380 |
| Номинальная мощность (кВт) | 7,5 | 11 | 12 | 12 | 12 | 12 | 18,5 | 18,5 | 18,5 |
| Рабочая мощность (кВт) | 2,7 | 6 | 2,3 | 2,3 | 4,5 | 3,7 | 7,3 | 7,3 | 7,3 |
| Расход охл. жидкости (л/мин) | 2,7 | 6 | 3 | 3 | 4,1 | 4,2 | 12 | 12 | 12 |
| Поток газа продувки N2 (ст.л/мин) | 40 | 90-130 | 40 | 22-44 | 40-90 | 40-90 | 90-130 | 90-130 | 90-130 |
| Разъем питания | HAN-K4/4 | HAN-K4/4 | HAN-K4/4 | HAN-K4/4 | HAN-K4/4 | HAN-K4/4 | HAN-K4/4 | HAN-K4/4 | HAN-K4/4 |
| Вес (кг) | 265 | 511 | 434 | 360 | 434 | 527 | 908 | 948 | 957 |
| Размеры (мм) | 1150х440х557 | 1196х580х688 | 1150х440х790 | 900х400х830 | 1150x440x790 | 1150x440x790 | 1240x580x970 | 1240x580x970 | 1240x580x966 |