Сухие насосы серии GLR специально разработаны для "light" процессов полупроводникового производства: откачка шлюзовых камер и загрузчиков, откачка камер плазменной очистки и вакуумного напыления. Насосы GLR отличаются высокой надежностью и низкой стоимостью эксплуатации.
Основные особенности
- прочные и долговечные материалы
- инновационные покрытия ротора и уникальная обработка поверхности
- являются прекрасной альтернативой насосам Edwards и Pfeiffer
Технические характеристики
| Модель | GLR-120 |
| Скорость откачки (м3/ч) | 110 |
| Предельное давление (мбар) | 0,03 |
| Впускной фланец (ISO) | 63 |
| Выпускной фланец (KF) | 25 |
| Напряжение питания (В) | 208/380 |
| Номинальная мощность (кВт) | 2,2 |
| Рабочая мощность (кВт) | 0,6 |
| Расход охл. жидкости (л/мин) | 3 |
| Поток газа продувки N2 (ст.л/мин) | 0/12 |
| Разъем питания | HAN 3-40A |
| Вес (кг) | 60 |
| Уровень шума (дБ) | <65 |
| Размеры (мм) | 462х239х284 |