Сухие насосы серии GLR специально разработаны для "light" процессов полупроводникового производства: откачка шлюзовых камер и загрузчиков, откачка камер плазменной очистки и вакуумного напыления. Насосы GLR отличаются высокой надежностью и низкой стоимостью эксплуатации.
Основные особенности
- прочные и долговечные материалы
- инновационные покрытия ротора и уникальная обработка поверхности
- являются хорошей заменой насосам Edwards и Pfeiffer
Технические характеристики
| Модель | GLR-120 | GLR -500 | GLR -650 | GLR -2000 | GLR -3000 | GLR -5000 |
| Скорость откачки (м3/ч) | 110 | 500 | 650 | 2300 | 3380 | 4500 |
| Предельное давление (мбар) | 0,03 | 0,01 | 0,05 | 0,007 | 0,007 | 0,008 |
| Входной фланец (ISO) | 63 | 100 | 100 | 160 | 160 | 160 |
| Выпускной фланец (NW) | 25 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Напряжение питания (В) | 208/380 | 208/380 | 208/380 | 208/380 | 208/380 | 380 |
| Номинальная мощность (кВт) | 2,2 | 15 | 15 | 26 | 26 | 30 |
| Рабочая мощность (кВт) | 0,6 | 5,7 | 5,7 | 6,7 | 6,7 | 7,5 |
| Расход охл. жидкости (л/мин) | 1.5 | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 |
| Поток газа продувки, опционально N2 (ст.л/мин) | 0/4/12 | 7~100 | 4~50 | 4~50 | 4~50 | 4~12 |
| Разъем питания | HAN 3-40A | H2MK-100A | H2MK-100A | H2MK-100A | H2MK-100A | H2MK-100A |
| Вес (кг) | 69 | 480 | 480 | 750 | 820 | 900 |
| Размеры (мм) | 450х239х285 | 1310х620х682 | 1294x654x690 | 1310x620x1002 | 1294x620x1002 | 1294x620x1002 |