Сухие насосы серии GMR специально разработанные для условий производства полупроводников и микроэлектроники, обладают высокой химической стойкостью и являются лучшим выбором для применения в сложных технологических процессах плазмохимического травления, снятия фоторезиста и т.п. Отличаются высокой надежностью и низкой стоимостью эксплуатации.
Вакуумная система насоса серии GMR включает многоступенчатый насос Рутса.
Основные особенности
- прочные и долговечные антикоррозийные материалы
- инновационные покрытия ротора и уникальная обработка поверхности
- являются прекрасной альтернативой насосам Edwards и Pfeiffer
Технические характеристики
| Модель | GMR-600 |
| Скорость откачки (м3/ч) | 610 |
| Предельное давление (мбар) | 0,003 |
| Впускной фланец (ISO) | 100 |
| Выпускной фланец (KF) | 40 |
| Напряжение питания (В) | 208/380 |
| Номинальная мощность (кВт) | 3,8 |
| Рабочая мощность (кВт) | 1,3 |
| Расход охл. жидкости (л/мин) | 2,1 |
| Поток газа продувки N2 (ст.л/мин) | 44/96 |
| Разъем питания | HAN-K4/4 |
| Вес (кг) | 270 |
| Уровень шума (дБ) | <65 |
| Размеры (мм) | 840х444х784 |