Вводы вращения с магнитной муфтой

Надежная и проверенная в производственных условиях линейка вакуумных вводов вращения MagiDrive позволяет передавать вращение в вакуумную систему с помощью жесткой магнитной муфты. Благодаря отсутствию сильфонов, жидкостей или динамических уплотнений линейка MagiDrive обеспечивает надежную и герметичную работу в условиях сверхвысокого вакуума (UHV).

Основные особенности

• Отказоустойчивая конструкция с магнитной связью
• Цельная, герметичная конструкция вакуумной части
• Магнитное экранирование позволяет использовать в магниточувствительных приложениях
• Отсутствие сильфонов, органических материалов или скользящих уплотнений
• Отжиг при температурах до 250ºC (включая магниты)
• Высокое соотношение крутящего момента к размеру
• Нулевой люфт при низких нагрузках и ускорениях
• Варианты с полым валом позволяют использовать концентрические приводы

Исполнение с цельным валом
Серия вводов вращения MagiDriveс цельным валом обеспечивает широкий спектр стандартных вариантов вала, смонтированных на фланцах CF 10” – CF 64”. UHV Design предлагает также ряд удлиненных корпусов для поддержки вала вдоль его оси вращения. По запросу возможна поставка индивидуальных исполнений вводов и валов.

Исполнение с полым валом
Четыре самых больших вводов вращения MagiDrive доступны в конфигурации с полым валом, заканчивающейся не вращающимся фланцем CF. Это позволяет обеспечить сервисные соединения через привод вращения, в качестве альтернативы, устанавливать дополнительный привод MagiDrive, обеспечивая дополнительную ось вращения. До четырех независимых осей вращения можно обеспечить, объединив приводы MD16, MD35H, MD64H и MD100H. Эта возможность наращивания обычно используется для обеспечения простых решений при сложных требованиях к перемещениям объектов.

Комбинированные вводы вращения и линейного перемещения
Серия MagiLift представляет собой комбинированный ввод вращения и осевого перемещения в одном компактном устройстве. Примером применения может быть вращение подложкодержателя с приводом подъема и опускания, используемым для облегчения загрузки/выгрузки образца. Технология полого вала позволяет подвести питание к системе нагрева подложки.