Вводы вращения и перемещения в вакуумных объемах

Вводы вращения с магнитной муфтой

Надежная и проверенная в производственных условиях линейка вакуумных вводов вращения MagiDrive позволяет передавать вращение в вакуумную систему с помощью жесткой магнитной муфты. Благодаря отсутствию сильфонов, жидкостей или динамических уплотнений линейка MagiDrive обеспечивает надежную и герметичную работу в условиях сверхвысокого вакуума (UHV).

Основные особенности

  • Отказоустойчивая конструкция с магнитной связью
  • Цельная, герметичная конструкция вакуумной части
  • Магнитное экранирование позволяет использовать в магниточувствительных приложениях
  • Отсутствие сильфонов, органических материалов или скользящих уплотнений
  • Отжиг при температурах до 250ºC (включая магниты)
  • Высокое соотношение крутящего момента к размеру
  • Нулевой люфт при низких нагрузках и ускорениях
  • Варианты с полым валом позволяют использовать концентрические приводы

Исполнение с цельным валом
Серия вводов вращения MagiDriveс цельным валом обеспечивает широкий спектр стандартных вариантов вала, смонтированных на фланцах CF 10” – CF 64”. UHV Design предлагает также ряд удлиненных корпусов для поддержки вала вдоль его оси вращения. По запросу возможна поставка индивидуальных исполнений вводов и валов.

Исполнение с полым валом
Четыре самых больших вводов вращения MagiDrive доступны в конфигурации с полым валом, заканчивающейся не вращающимся фланцем CF. Это позволяет обеспечить сервисные соединения через привод вращения, в качестве альтернативы, устанавливать дополнительный привод MagiDrive, обеспечивая дополнительную ось вращения. До четырех независимых осей вращения можно обеспечить, объединив приводы MD16, MD35H, MD64H и MD100H. Эта возможность наращивания обычно используется для обеспечения простых решений при сложных требованиях к перемещениям объектов.

Комбинированные вводы вращения и линейного перемещения
Серия MagiLift представляет собой комбинированный ввод вращения и осевого перемещения в одном компактном устройстве. Примером применения может быть вращение подложкодержателя с приводом подъема и опускания, используемым для облегчения загрузки/выгрузки образца. Технология полого вала позволяет подвести питание к системе нагрева подложки.

Технические характеристики

Серия

Конфигуратор
стандартной серии (ссылка)

Фланец

Крутящий момент

Максимальная
аксиальная нагрузка

MagiDrive с цельным валом

MD10

CF10/1"

0.18 Нм

9 Н

MD16N/MD16A

CF16/1.33”

0.45 или 1.8 Нм

20 Н

MD40N/MD40A

CF40/2.75”

0.45 или 1.8 Нм

20 Н

MD40

CF40/2.75”

9.0 Нм

142 Н

MD64

CF64/4.5”

10.0 Нм

415 Н

MagiDrive с полым валом

MD40H

CF40/2.75”

9.0 Нм

142 Н

MD35LB

CF40/2.75”

6.0 Нм

143 Н

MD64H

CF64/4.5”

10 Нм

415 Н

MD64LB(M)

CF64/4.5”

8 или 40 Нм

415 Н

MD100H

CF100/6”

40 Нм

415 Н

MagiLift

MagiLift

CF40/2.75”

9 Hм

20 Н

Скачать

Top