ГАЗОВЫЕ ПОТОКИ

Регуляторы и измерители расхода газа

Серия CS

Регуляторы расхода газа (MFC) и измерители потока газа (MFM) серии CS являются современными устройствами, созданными с использованием технологий последнего поколения. В серии CS применяются датчик постоянной мощности, улучшенный датчик потока, система температурной компенсации, цифровой датчик баланса, технология коррекции клапана и функция коррекции заземления (CGC).
Широкая номенклатура потоков, вариантов питания, управления и соединений с газовой линией позволяют подобрать прибор практически для любой производственной или исследовательской задачи. Также всегда возможно подобрать аналог на замену вышедшему из строя регулятору или расходомеру других фирм-производителей.
Многофункциональное клиентское программное обеспечение входит в стандартную комплектацию каждой модели. Помимо стандартных процедур управления доступны дополнительные функции: калибровка на различные газы, калибровка на различные диапазоны потока, автоматическая калибровка нулевого значения, аварийные сигналы, задержка и плавный запуск.

  • CS100 - надежные приборы общего применения.

  • CS200 - улучшенная линейка приборов с широким выбором интерфейсов и вариантов соединения.

  • CS230 - модификация серии CS200 для больших потоков газа.

  • CS300 - новое поколение приборов для производственного оборудования полупроводниковой промышленности. Технологическая платформа РРГ CS300 является последним поколением с функцией компенсации давления на основе DF алгоритма и высоким уровнем финишной обработки внутренней поверхности. CS300 соответствуют стандарту SEMI.

  • CS330 - Модификация серии CS300 для больших потоков газа.


Дополнительную информацию по серии CS можно также получить на специализированном сайте www.mfcsevenstar.ru

CS100
CS200
CS230
CS310
CS320
CS330

Технические характеристики

Тип

Диапазон (N2)

Точн.

Лин.

Повтор.

Отклик

Макс. раб. давл.

Уровень течи

Уплотнение

Поверхность

Цифр. интерфейс

Аналог. интерфейс

CS100A

0÷0.005...50 ст.л/мин

±1.0% У.З.* (≥35% П.Ш.**); ±0.35% У.З. (<35% П.Ш.)

±0.5% П.Ш.

±0.2% П.Ш.

≤1 с

0.45 МПа

1·10-8 атм. см3/сек (He)

Витон

25 Ra

RS485

0÷5 В

CS100B

≤1.5 с

CS100D

0÷0.005…30 ст.л/мин

≤1 с

Металл

CS200A

0÷0.005...50 ст.л/мин

≤1 с

1·10-9 атм. см3/сек (He)

Витон

RS485, DeviceNet™, ProfiBus

0÷5 В, 4÷20 мА, 0÷20 мА

CS200С

≤0.8 с (SEMI E17-0600)

Металл

10 Ra

CS200D

25 Ra

CS230A

0÷50...300 ст.л/мин

≤2 с

1 МПа

Витон

0÷5 В, 4÷20 мА

CS310 С(D)

0÷0.001…30 ст.л/мин

до ±0.80% У.З. (≥30% П.Ш.); ±0.24% П.Ш. (<30% П.Ш.)

до 0.5 сек

0.45 МПа

1·10-11 Па·м3/сек (He)

Металл

Ra 5 (Cr/Fe >2.0, CrO >20 А для варианта C), Ra 25 для варианта D

RS485, DeviceNet™

0÷5 В

CS320 С(D)

CS330 С(D)

0÷100, 200 ст.л/мин

±1.0% П.Ш. (>35% П.Ш.); ±0.35% П.Ш. (≤35% П.Ш.)

≤1 сек

1 МПа

5·10-12 Па·м3/сек (He)

Ra 5 (электрополировка для варианта С), Ra 25 (для варианта D)

0÷5 В, 4÷20 мА, 0÷20 мА

* - Установленное Значение (У.З.)
** - Полная Шкала (П.Ш.)

Скачать

Top