Сухие насосы серии GHC-AA специально разработанные для условий производства полупроводников и микроэлектроники, обладают высокой пылеулавливающей способностью и являются лучшим выбором для применения в сложных технологических процессах PECVD, MOCVD, ALD и т.п. Отличаются высокой надежностью и низкой стоимостью эксплуатации.
Вакуумная система насоса серии GHC-AА включает два блока - многоступенчатый когтевой механизм и механический бустер.
Основные особенности
- оптимизированный принцип работы кулачково-зубчатого механизма насоса
- многоуровневое последовательное сжатие
- превосходная способность обработки пыли
- прочные и долговечные антикоррозийные материалы
- инновационные покрытия ротора и уникальная обработка поверхности
- являются прекрасной альтернативой насосам Edwards и Pfeiffer
Технические характеристики
| Модель | GHC-AA600 | GHC-AA1200 | GHC-AA1800 | GHC-AA3000 | GHC-AA5000 | GHC-AA6000 |
| Скорость откачки, м3/ч | 680 | 1200 | 1800 | 3300 | 4480 | 5500 |
| Предельное давление, мбар | 0.005 | 0.005 | 0.005 | 0.005 | 0.005 | 0.005 |
| Впускной фланец, ISO | 100 | 100 | 160 | 160 | 200 | 250 |
| Выпускной фланец, NW | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 |
| Напряжение питания, В | 208/380 | 208/380 | 208/380 | 208/380 | 208/380 | 208/380 |
| Номинальная мощность, кВт | 12 | 12 | 12 | 15 | 18.5 | 18.5 |
| Рабочая мощность, кВт | 2.5 | 4.5 | 4.5 | 7.3 | 7.3 | 7.3 |
| Расход охлаждающей жидкости, л/мин | 3,0 | 4,2 | 4,2 | 12,0 | 12,0 | 12,0 |
| Поток газа продувки N2, ст. литров/мин | 22/44 | 44/96 | 44/96 | 128 | 128 | 128 |
| Разъем питания | HAN-K4/4 | HAN-K4/4 | HAN-K4/4 | HAN-K4/4 | HAN-K4/4 | HAN-K4/4 |
| Вес, кг | 488 | 468 | 488 | 827 | 928 | 973 |
| Уровень шума, дБA | <70 | <70 | <70 | <70 | <70 | <70 |
| Размеры, мм | 1150х440х800 | 1150x440x800 | 1150x440x800 | 1240x580x966 | 1240x580x966 | 1240x580x966 |