Надежные средства откачки для производства микроэлектроники

Cерия GHC-AA

Сухие насосы серии GHC-AA специально разработанные для условий производства полупроводников и микроэлектроники, обладают высокой пылеулавливающей способностью и являются лучшим выбором для применения в сложных технологических процессах PECVD, MOCVD, ALD и т.п. Отличаются высокой надежностью и низкой стоимостью эксплуатации.
Вакуумная система насоса серии GHC-AА включает два блока - многоступенчатый когтевой механизм и механический бустер.

Основные особенности

  • оптимизированный принцип работы кулачково-зубчатого механизма насоса
  • многоуровневое последовательное сжатие
  • превосходная способность обработки пыли
  • прочные и долговечные антикоррозийные материалы
  • инновационные покрытия ротора и уникальная обработка поверхности
  • являются прекрасной альтернативой насосам Edwards и Pfeiffer

Технические характеристики

Модель GHC-AA600 GHC-AA1200 GHC-AA1800 GHC-AA3000 GHC-AA5000 GHC-AA6000
Скорость откачки, м3 680 1200 1800 3300 4480 5500
Предельное давление, мбар 0.005 0.005 0.005 0.005 0.005 0.005
Впускной фланец, ISO 100 100 160 160 200 250
Выпускной фланец, NW 40 40 40 40 40 40
Напряжение питания, В 208/380 208/380 208/380 208/380 208/380 208/380
Номинальная мощность, кВт 12 12 12 15 18.5 18.5
Рабочая мощность, кВт 2.5 4.5 4.5 7.3 7.3 7.3
Расход охлаждающей жидкости,  л/мин 3,0 4,2 4,2 12,0 12,0 12,0
Поток газа продувки N2,   ст. литров/мин 22/44 44/96 44/96 128 128 128
Разъем питания HAN-K4/4 HAN-K4/4 HAN-K4/4 HAN-K4/4 HAN-K4/4 HAN-K4/4
Вес, кг 488 468 488 827 928 973
Уровень шума, дБA <70 <70 <70 <70 <70 <70
Размеры, мм 1150х440х800 1150x440x800 1150x440x800 1240x580x966 1240x580x966 1240x580x966

Скачать

Top