Надежные средства откачки для производства микроэлектроники

Cерия GHC-AA

Сухие насосы серии GHC-AA специально разработанные для улучшения условий производства полупроводников и электроники, обладают высокой пылеулавливающей способностью и являются лучшим выбором для применения в сложных технологических процессах, отличаются высокой надежностью и низкой стоимостью эксплуатации.
Вакуумная система насоса серии GHC-AА включает два блока - многоступенчатый когтевой механизм и механический бустер.

Основные особенности

  • оптимизированный принцип работы когтевого механизма насоса
  • многоуровневое последовательное сжатие
  • превосходная способность обработки пыли
  • прочные и долговечные антикоррозийные материалы
  • инновационные покрытия ротора и уникальная обработка поверхности
  • являются прекрасной альтернативой насосам Edwards и Pfeiffer
Top