Сухие насосы серии GHC-A специально разработаны для условий производства полупроводников и микроэлектроники, обладают высокой пылеулавливающей способностью и являются лучшим выбором для применения в сложных технологических процессах PECVD, MOCVD, ALD и т.п. Отличаются высокой надежностью и низкой стоимостью эксплуатации.
Вакуумная система насоса серии GHC-A состоит из одного блока - многоступенчатый когтевой механизм.
Основные особенности
- оптимизированный принцип работы кулачково-зубчатого механизма насоса
- многоуровневое последовательное сжатие
- превосходная способность обработки пыли
- прочные и долговечные антикоррозийные материалы
- инновационные покрытия ротора и уникальная обработка поверхности
- являются прекрасной альтернативой насосам Edwards и Pfeiffer
Технические характеристики
| Модель | GHC-A100 | GHC-A200 | GHC-A500 |
| Скорость откачки, м3/ч | 110 | 215 | 510 |
| Предельное давление, мбар | 0.03 | 0.03 | 0.03 |
| Впускной фланец, ISO | 63 | 63 | 63 |
| Выпускной фланец, NW | 40 | 40 | 40 |
| Напряжение питания, В | 208/380 | 208/380 | 208/380 |
| Номинальная мощность, кВт | 7.5 | 7.5 | 11 |
| Рабочая мощность, кВт | 2.7 | 2.7 | 6 |
| Расход охлаждающей жидкости, л/мин | 2.0 | 2.7 | 6.0 |
| Поток газа продувки N2, ст. литров/мин | 28/44 | 28/44 | 96/133 |
| Разъем питания | HAN-K4/4 | HAN-K4/4 | HAN-K4/4 |
| Вес, кг | 245 | 265 | 411 |
| Уровень шума, дБA | <70 | <70 | <70 |
| Размеры, мм | 1120x440x519 | 1120x440x519 | 1196x580x618 |