Форвакуумные насосы серии iH

Сухие системы откачки Edwards серии iH — это современные форвакуумные насосы, разработанные специально для процессов производства микроэлектроники, использующих самовоспламеняющиеся, взрывоопасные, коррозионные и легкоконденсирующиеся газовые смеси. Особенностью конструкции являются консольные валы, коррозионностойкие материалы и специально профилированный ротор для вывода нано и микрочастиц. Усиленный двигатель совместно с системой прогрева насоса обеспечивают максимальную производительность при откачке коррозионных и легкоконденсирующихся газов. Не требующие смазки подшипники обеспечивают постоянную работу насоса без технического обслуживания. Пятиступенчатая откачка позволяет избежать установки дополнительного глушителя на выходе насоса, а цельная конструкция вала снижает размеры откачной камеры, минимизируя габаритные размеры устройства.
Рекомендованным применением систем iH являются установки ионной имплантации, плазмохимического осаждения (PECVD), плазмохимического травления (RIE и ICP-RIE), атомно-слоевого осаждения (ALD) и химического осаждения (CVD и LPCVD). Модель iH1800HXT дополнительно оснащена усиленной системой прогрева и предназначена для установок осаждения нитрида кремния методом LPCVD. Широкий ряд насосов различной производительности позволяет подобрать оптимальный вариант вплоть до установок, предназначенных для обработки пластин диаметром 300 мм.
Системы iH занимают более 50% мирового рынка вакуумной откачки технологических установок и используются ведущими производителями оборудования для производства микроэлектронных компонентов. Несколько поколений насосов iH доказали свою надежность и работоспособность в самых тяжелых условиях эксплуатации.