Вакуумные насосы и датчики давления одного из лучших производителей

Серия iH

Сухие системы откачки Edwards серии iH — это современные форвакуумные насосы, разработанные специально для процессов производства микроэлектроники, использующих самовоспламеняющиеся, взрывоопасные, коррозионные и легкоконденсирующиеся газовые смеси. Особенностью конструкции являются консольные валы, коррозионностойкие материалы и специально профилированный ротор для вывода нано и микрочастиц. Усиленный двигатель совместно с системой прогрева насоса обеспечивают максимальную производительность при откачке коррозионных и легкоконденсирующихся газов. Не требующие смазки подшипники обеспечивают постоянную работу насоса без технического обслуживания. Пятиступенчатая откачка позволяет избежать установки дополнительного глушителя на выходе насоса, а цельная конструкция вала снижает размеры откачной камеры, минимизируя габаритные размеры устройства.
Рекомендованным применением систем iH являются установки ионной имплантации, плазмохимического осаждения (PECVD), плазмохимического травления (RIE и ICP-RIE), атомно-слоевого осаждения (ALD) и химического осаждения (CVD и LPCVD). Модель iH1800HXT дополнительно оснащена усиленной системой прогрева и предназначена для установок осаждения нитрида кремния методом LPCVD. Широкий ряд насосов различной производительности позволяет подобрать оптимальный вариант вплоть до установок, предназначенных для обработки пластин диаметром 300 мм.
Системы iH занимают более 50% мирового рынка вакуумной откачки технологических установок и используются ведущими производителями оборудования для производства микроэлектронных компонентов. Несколько поколений насосов iH доказали свою надежность и работоспособность в самых тяжелых условиях эксплуатации.

Технические характеристики


iH 80

iH 160

iH 600

iH 1000

iH 1800/HTX

Максимальная скорость откачки

86 м3

165 м3

518 м3

950 м3

1800 м3

Предельное остаточное давление

3×10-2 мбар

1×10-2 мбар

2×10-3 мбар

1×10-3 мбар

Время прогрева до номинальной производительности

15 мин

Время работы при 1 бар

более 1 часа

Мощность в стационарном режиме

2.4 кВт

2.9 кВт

3.4 кВт

4.0 кВт

Мощность в режиме ожидания

2.4 кВт

1.9 кВт

2.4 кВт

2.9 кВт

Электропитание

380 В, 50 Гц, 3ф.

Входной фланец

ISO63

ISO100

ISO160

Выходной фланец

NW40

Рабочая температура

5-40 °C

Вес

240 кг

244 кг

415 кг

430 кг

502 кг

Газобалласт (N2, 1.4-6.9 атм.)

4-44 л/мин

Шум

64 дБ

67 дБ

69 дБ

Вибрация

<1.8 мм/сек

Охлаждение (вода 20±10 °С, 2-6,5 атм.)

2 л/мин, 2.5 кВт

4 л/мин, 3.2 кВт

Ширина

390 мм

470 мм

Глубина

909 мм

1059 мм

Высота

529 мм

783 мм

839 мм

992 мм

1094 мм

Скачать

Top