Серия LSC 4000

Установки серии LSC-4000 – это современные высокотехнологичные системы очистки подложек. В установках используются запатентованные технологии мегазвуковой обработки и дозирования химических веществ, применяемых при чистке. Большая климатическая камера позволяет установить приспособления для нескольких методов очистки и дополнительно производить очистку водой под высоким давлением и/или с использованием химически активных реагентов. Управление установками серии LSC осуществляется с помощью персонального компьютера с сенсорным экраном и программного обеспечения на базе пакета LabVIEW, что значительно расширяет возможности по настройке технологических последовательностей и управлению процессом очистки.
Установка LSC-4000 оснащена большой камерой и позволяет выполнять очистку и сушку стандартных пластин диаметром до 450 мм и фотошаблонов размером 15х15''. Загрузка/выгрузка осуществляется вручную. В камере может быть установлено до трех программируемых рук (насадок), обеспечивающих комбинацию нескольких методов очистки (например: мегазвуковая обработка, механическая очистка с помощью щетки и нагретой деионизованной воды). Данная установка подходит для очистки пластин с нанесенными и ненасенными структурными элементами, очистки отдельных пластин на пяльцах, заготовок фотошаблонов со слоем фоторезиста и других подобных задач. Для системы доступны дополнительные опции и модули: высокое давление, нагрев и озонирование деионизованной воды, система подачи реагентов, насадка для смешивания реагентов, роботизированный модуль загрузки/выгрузки.