Вакуумное и магнетронное осаждение, плазмохимическое травление и осаждение, атомно-слоевое осаждение, очистка

Серия LSC 4000

Установки серии LSC-4000 – это современные высокотехнологичные системы очистки подложек. В установках используются запатентованные технологии мегазвуковой обработки и дозирования химических веществ, применяемых при чистке. Большая климатическая камера позволяет установить приспособления для нескольких методов очистки и дополнительно производить очистку водой под высоким давлением и/или с использованием химически активных реагентов. Управление установками серии LSC осуществляется с помощью персонального компьютера с сенсорным экраном и программного обеспечения на базе пакета LabVIEW, что значительно расширяет возможности по настройке технологических последовательностей и управлению процессом очистки.
Установка LSC-4000 оснащена большой камерой и позволяет выполнять очистку и сушку стандартных пластин диаметром до 450 мм и фотошаблонов размером 15х15''. Загрузка/выгрузка осуществляется вручную. В камере может быть установлено до трех программируемых рук (насадок), обеспечивающих комбинацию нескольких методов очистки (например: мегазвуковая обработка, механическая очистка с помощью щетки и нагретой деионизованной воды). Данная установка подходит для очистки пластин с нанесенными и ненасенными структурными элементами, очистки отдельных пластин на пяльцах, заготовок фотошаблонов со слоем фоторезиста и других подобных задач. Для системы доступны дополнительные опции и модули: высокое давление, нагрев и озонирование деионизованной воды, система подачи реагентов, насадка для смешивания реагентов, роботизированный модуль загрузки/выгрузки.

Технические характеристики

Основные технические характеристики LSC-4000

Максимальный диаметр пластины

450 мм

Максимальный размер шаблона

15''x15''

Среднее время очистки

5 минут

Частота мегазвука

1 МГц или 3 МГц

Максимальная выходная мощность ВЧ источника питания

40 Вт

Максимальный расход ДИ воды

1.5 л/мин

Максимальная скорость вращения

4000 об/мин (обычно ограничена 2000 об/мин)

Управление

ПК с LabVIEW и сенсорным дисплеем

Процесс

По рецепту

Доступ

Три уровня доступа с защитой паролем

Загрузка/Выгрузка

Ручная

Размер (Ш x Г x В)

28''x32''x72''

Требования к месту установки

Электропитание

208В, 20А или 400В, 20А, 50/60Гц

Сжатый воздух

2.2 cfm @ 70-80 psi для внутреннего вакуумного насоса

Расход подаваемых химикатов

@15PSI N2, 83 ccm

@20PSI N2, 133 ccm

Слив

2 x 1.0” входящий концевой фитинг с развальцовкой

Азот

40-50 PSI

Вытяжка

2.2 cfm, 1’’ FNPT, 400 мм рт.ст.

Кислород для озонирования ДИ воды

15 PSI

Скачать

Top