Компактная и экономичная система с 12-ю источниками предназначена для работы с подложками 3х3” или 1х6”. Оснащена простым и дружественным интерфейсом управления и проста в обслуживании. Предусмотрены конструктивные решения для снижения эксплуатационных расходов при эксплуатации установки.
Технические характеристики
| MBE-800P | Модуль | Конфигурация/параметры |
| Ростовая камера | Внутренний диаметр | 650 мм |
| Охлаждаемые экраны LN2 | Стандартная конфигурация | |
| Температура подложки | 1000 oC | |
| Точность поддержания температуры | ±0.2 oC | |
| Максимальный размер подложки | 6” | |
| Максимальная скорость вращения подложки | 60 об/мин | |
| Конфигурация источников | CF100x12 | |
| Независимые заслонки источников | Привод от электродвигателя | |
| Температура отжига | 200 oC | |
| Дифракция быстрых электронов (RHEED) | 15~30 кэВ | |
| Анализатор остаточных газов (RGA) | 0-200 аем | |
| Предпроцессная подготовка | Максимальная температура нагрева | 600 oC |
| Система хранения и загрузки образцов | Платформа для парковки образцов | 6 позиций |
| Система нагрева ИК | Опционально | |
| Интеграция и система управления | Программа управления с графическим интерфейсом (GUIDE) | Стандартное оснащение |
| ПЗС камера | Опционально | |
| Перчаточный ящик | Опционально | |
| Система восстановления загрязняющих веществ | Опционально | |
| Откачной пост | Опционально | |
| Система внутреннего освещения камеры | Опционально | |
| Атомно-абсорбционная спектроскопия для мониторинга пучка AAFM-3 | Опционально | |
| Пирометр для мониторинга температуры подложек BTM-100 | Опционально |