Установка молекулярно-пучковой эпитаксии MBE-800 предназначена для эпитаксиальных процессов на подложках 4”. Стандартная версия оснащена двухзонным нагревателем и 12-ю источниками для прецизионного роста многослойных структур.
Установка выпускается в вариантах как ручного перемещения образцов, так и с полностью автоматической системой перегрузки. По запросу Заказчика система может оснащаться дополнительными технологическими модулями как, например, сверхвысоковакуумным блоком ионно-ассистированного осаждения.
Система MBE-800 является надежным, гибким и компактным решением для мелкосерийного производства на подложках 4”.
Технические характеристики
| MBE-800 | Модуль | Конфигурация/параметры |
| Ростовая камера | Внутренний диаметр | 650 мм |
| Предельный вакуум | <5×10-11 мбар | |
| Охлаждаемые экраны LN2 | Стандартная конфигурация | |
| Температура подложки | 1000 oC | |
| Точность поддержания температуры | ±0.5 oC | |
| Максимальный размер подложки | 4” | |
| Максимальная скорость вращения подложки | 60 об/мин | |
| Конфигурация источников | CF63х2/CF100x7/CF125x3 | |
| Независимые заслонки источников | Привод от электродвигателя | |
| Ионный вакуумметр | 1×10-3÷2×10-11 мбар | |
| Температура отжига | 200 oC | |
| Предпроцессная подготовка | Максимальная температура нагрева | 450 oC |
| Предельный вакуум | <2×10-10 мбар | |
| Ионный вакуумметр | 1×10-3÷2×10-11 мбар | |
| Водоохлаждаемая рубашка камеры | Опционально | |
| Система хранения и загрузки образцов | Платформа для парковки образцов | 10 позиций (опционально) |
| Шлюзовая камера | Платформа для парковки образцов | 4-10 позиций |
| Предельный вакуум | <1×10-8 мбар | |
| Широкодиапазонный вакуумметр | 1×10-3÷5×10-9 мбар | |
| Водоохлаждаемая рубашка камеры | Опционально | |
| ИК лампа для отжига | Опционально | |
| Перегрузочная камера | Предельный вакуум | <5×10-9 мбар |
| Давление при перегрузке образцов | <1×10-9 мбар | |
| Максимальный ход ручного перегрузчика | 1200 мм | |
| Максимальной ход автоматической системы перегрузки | 1350 мм | |
| Ионный вакуумметр | 1×10-3÷2×10-11 мбар | |
| Интеграция и система управления | Программа управления с графическим интерфейсом (GUIDE) | Стандартное оснащение |
| ПЗС камера | Опционально | |
| Перчаточный ящик | Опционально | |
| Система восстановления загрязняющих веществ | Опционально | |
| Отправка SMS оповещений | Опционально |