Установка молекулярно-пучковой эпитаксии MBE-600 предназначена для роста материалов групп III-V, II-VI на подложках 1, 2, и 3”. Установка сконструирована на базе ростовой камеры вертикальной конструкции и может включать до 10-ти источников материала.
Выпускается в вариантах как ручного перемещения образцов, так и с полностью автоматической системой перегрузки. По запросу Заказчика система может оснащаться дополнительными технологическими модулями.
Система MBE-600 является надежным, гибким и компактным решением для мелкосерийного производства на подложках малого размера.
Технические характеристики
| MBE-600 | Модуль | Конфигурация/параметры |
| Ростовая камера | Внутренний диаметр | 450 мм |
| Предельный вакуум | <5×10-11 мбар | |
| Охлаждаемые экраны LN2 | Стандартная конфигурация | |
| Температура подложки | 1000 oC | |
| Точность поддержания температуры | ±0.5 oC | |
| Максимальный размер подложки | 3” | |
| Максимальная скорость вращения подложки | 60 об/мин | |
| Конфигурация источников | CF35х3/CF63x7 | |
| Независимые заслонки источников | Привод от электродвигателя | |
| Ионный вакуумметр | 1×10-3÷2×10-11 мбар | |
| Температура отжига | 200 oC | |
| Предпроцессная подготовка | Максимальная температура нагрева | 450 oC |
| Предельный вакуум | <2×10-10 мбар | |
| Ионный вакуумметр | 1×10-3÷2×10-11 мбар | |
| Камера хранения образцов | Платформа для парковки образцов | 4+2 позиции |
| Предельный вакуум | <5×10-10 мбар | |
| Давление при перегрузке образцов | <1×10-9 мбар | |
| Ручная/автоматическая перегрузка | Опционально 1350 мм | |
| Ионный вакуумметр | 1×10-3÷2×10-11 мбар | |
| Шлюзовая камера | Платформа для парковки образцов | 4+2 позиции |
| Предельный вакуум | <1×10-8 мбар | |
| Широкодиапазонный вакуумметр | 1×10-3÷5×10-9 мбар | |
| ИК лампа для отжига | Опционально | |
| Интеграция и система управления | Программа управления с графическим интерфейсом (GUIDE) | Стандартное оснащение |
| ПЗС камера | Опционально | |
| Перчаточный ящик | Опционально | |
| Система восстановления фосфора | Опционально | |
| Пирометр для мониторинга температуры подложек BTM-100 | Опционально | |
| Система внутреннего освещения камеры | Опционально | |
| Отправка SMS оповещений | Опционально |