MBE-2000

Экономичная и высокопроизводительная, серийная производственная система MBE.
Максимальное количество подложек для эпитаксии — 9×4 дюйма, 4×6 дюймов, 15×3 дюйма и 32×2 дюйма. Система полностью автоматизирована включая передачу образцов, калибровку пучков и эпитаксиальный рост. Установка способна работать в режиме 24/7 в условиях серийного производства.
Оснащена системой мониторинга in situ для реального контроля процесса роста структуры. Система дифракции быстрых электронов (RHEED), измеритель интенсивности пучка (BFM), анализатор остаточного газа (RGA); имеются дополнительные резервные порты для оборудования in situ мониторинга и возможность модернизации и расширения.
Система спроектирована с учетом минимальной занимаемой площади. Модульная структура поддерживает установку двух ростовых модулей, значительно увеличивая производительность и позволяя выращивать различные структуры из несовместимых друг с другом материалов.
Модульная система оснащена независимыми откачными средствами и затворами для каждой камеры, что облегчает обслуживание и максимизирует время безостановочной работы системы.
Установка проста в управлении, имеет удобный интерфейс, оснащена функциями блокировки безопасности и предупреждения ошибочных действий оператора.