Полнофункциональная установка молекулярно-пучковой эпитаксии исследовательского класса для небольших образцов
- работа с образцами на держателе «flag-type»
- до 5-ти источников материала
- вакуумный шлюз с системой хранения образцов
- простота в использовании и обслуживании
- дополнительные порты для установки опционального оборудования (RHEED, ионный источник и т.п.)
Технические характеристики
| MBE-300S | Модуль | Конфигурация/параметры | |
| Ростовая камера | Камера | Материал | SS316 |
| Внутренний диаметр | 300 мм | ||
| Температура отжига | до 200 oC | ||
| Предельный вакуум | <5×10-10 мбар | ||
| Система откачки |
Турбомолекулярный насос 300 л/с, форвакуумный насос 10 м3/ч |
||
| Система контроля вакуума | Ионизационный вакуумметр + Пирани | ||
| Магниторазрядный насос | Опционально | ||
| Подложкодержатель | Тип | Flag-type | |
| Метод нагрева | Радиационный нагрев | ||
| Температура подложки | до 1200 K | ||
| Нагрев электронным пучком | Опционально | ||
| Нагрев постоянным током | Опционально | ||
| Модуль охлаждения LN2 | Опционально | ||
| Компоненты | Конфигурация источников | 3xDN40CF, 1xDN100CF | |
| Независимые заслонки источников | Пневматический привод | ||
| Кварцевые микровесы (QCM) | Стандартное оснащение | ||
| Дифракция быстрых электронов (RHEED) | 15-30 кэВ | ||
| Ионный источник | Опционально | ||
| Анализатор остаточных газов (RGA) | Опционально | ||
| Загрузочная камера | Вакуумная камера | Материал камеры | SS316 |
| Температура отжига | до 200 oC | ||
| Базовое давление | <5×10-8 мбар | ||
| Система откачки |
Турбомолекулярный насос 80 л/с, форвакуумный насос 10 м3/ч |
||
| Контроль давления | Широкодиапазонный вакуумметр | ||
| Компоненты | Система хранения образцов | 6 или 12 позиций | |
| Шток перемещения образцов | CF35/600 мм | ||
| Манипулятор | CF35/150 мм | ||
| Интеграция и система управления | Программа управления с графическим интерфейсом (GUIDE) | Стандартное оснащение | |
| Система отжига камер | Стандартное оснащение | ||
| Рама установки | Стандартное оснащение | ||
| Система внутреннего освещения камеры | Опционально | ||
| Система плазменной очистки | Опционально | ||
| ПЗС камера | Опционально | ||