Физические характеристики микроэлектронных чипов

HMS

Системы измерения эффекта Холла серии HMS предназначенs для измерения концентрации и подвижности носителей заряда и удельного сопротивления. Серия установок Ecopia HMS являются незаменимыми измерительным инструментами при разработке, отладке и производстве полупроводниковых структур, чипов и приборов.
В состав измерительной системы HMS3000 входят: источник постоянного тока, терминал преобразовательной системы на основе технологии Ван дер Пау, тестовая система для измерения при низкой температуре (77K) и система магнитов с фиксированной плотностью магнитного потока. Эти части составляют стандартную установку для измерения эффекта Холла. Данная система была запатентована (Патент No: 0419005), как “Hall Effect Measurement System and test method”.
Измерительная система HMS5000 оснащена автоматическим перемещением магнита с возможностью изменения температуры и многофункциональным программным обеспечением для анализа измерений. Система автоматизирована таким образом, что позволяет без вмешательства пользователя плавно переходить к заданной температуре, стабилизироваться, проводить измерения (включая автоматическое перемещение магнита), и отображать зависимости различных свойств материала от температуры. В частности, системой могут быть получены следующие зависимости: концентрации от температуры, удельного сопротивления от температуры, коэффициента Холла от температуры, удельной проводимости от температуры и др. Отображение результатов возможно как в виде таблицы, так и виде графиков.
Система HMS7000 позволяет выполнять измерения электрических параметров по методу фото-Холла, при котором измерения электрических параметров проводятся в зависимости от длины волны, падающей на тестируемый образец. Система HMS7000 позволяет получить зависимости плотности и подвижности носителей заряда, удельного. сопротивления и коэффициента Холла от длины волны падающего излучения.

Технические характеристики

HMS3000 HMS3300 HMS3500 HMS5000 HMS5300 HMS5500 HMS7000
Ток вх 1 нA – 20 мA
Удельное сопротивление, Ом‧см 10-4~107
Концентрация, 1/см3 107~1021
Подвижность, см3/В‧с 1~107
Плотность магнитного потока, Т 0.27
0.31
0.37
0.51
1
0.51
Температура Жидкий Азот или комнатная до 300°С до 500°С 80~350К
Точность поддержания температуры ±0,5°С
для магнитов
AMP55T 80~350К Точность поддержания температуры ±0,5°С
для магнитов
AHT55T3 RT~573К
Точность поддержания температуры ±1°C
для магнитов
AMP55T 80~350К, Точность поддержания температуры ±0,5°С
для магнитов
AHT55T5 RT~773К
Точность поддержания температуры ±1°C
Комнатная
(± 0.03°С)
Тестовая плата Серия SPCB 5 x 5 ~ 20 x 20 мм и
15 x 15 ~ 30 x 30 мм
Толщина образца менее 2 ~5.5 мм
Серия SPCB 5 x 5 ~ 20 x 20 мм и
15 x 15 ~ 30 x 30 мм
Толщина образца до 5.5 мм
Серия SPCB 5 x 5 ~ 20 x 20 мм и
15 x 15 ~ 30 x 30 мм
Толщина образца до 5.5 мм
Серия SPCB 5 x 5 ~ 20 x 20 мм Толщина образца менее 2 мм 5 x 5 ~ 20 x 20 мм Толщина образца менее 2 мм 5 x 5 ~ 20 x 20 мм Толщина образца менее 2 мм Серия 5 x 5 ~ 20 x 20 мм
Толщина образца менее 2 мм
Измеряемая структура 3D образец
Измеряемые параметры - объемная и слоевая концентрация носителей заряда
- удельное сопротивление
- подвижность, коэффициент Холла
- магнито-сопротивление
- альфа (вертикальное/горизонтальное соотношение сопротивлений)
Измеряемые материалы Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, TCO (включая ITO), AlZnO, FeCdTe, ZnO и другие полупроводниковые материалы (N/P-типов)
Габаритные размеры измеритель 360×300×105 мм
измерительная ячейка 200×120×110 мм
измеритель 360×300×105 мм измеритель 360×300×105 мм измеритель 440×420×140 мм набор с магнитами 700х220х280 мм измеритель 440х420х140 мм модуль с магнитами АМР55Т 700х220х280 мм, модуль с магнитами AHT55Т3 670х210х250 мм измеритель 440х420х140 мм модуль с магнитами АМР55Т 700х220х280 мм, модуль с магнитами AHT55Т5 670х210х250 мм измеритель 440х420х140 мм держатель образца и набор магнитов 700х220х280 мм
Вес 7.7 кг измеритель: 8.5 кг набор с магнитами: 15.5 кг измеритель: 8.5 кг модуль с магнитами АМР55Т:15.5 кг модуль с магнитами АМР55Т3: 15 кг измеритель 8.5 кг модуль с магнитами АМР55Т: 15.5 кг модуль с магнитами АМР55Т5: 15 кг измеритель: 8.5 кг держатель образца и набор магнитов: 15 кг
Top