Физические характеристики микроэлектронных чипов
Системы измерения эффекта Холла серии HMS предназначенs для измерения концентрации и подвижности носителей заряда и удельного сопротивления. Серия установок Ecopia HMS являются незаменимыми измерительным инструментами при разработке, отладке и производстве полупроводниковых структур, чипов и приборов.
В состав измерительной системы HMS3000 входят: источник постоянного тока, терминал преобразовательной системы на основе технологии Ван дер Пау, тестовая система для измерения при низкой температуре (77K) и система магнитов с фиксированной плотностью магнитного потока. Эти части составляют стандартную установку для измерения эффекта Холла. Данная система была запатентована (Патент No: 0419005), как “Hall Effect Measurement System and test method”.
Измерительная система HMS5000 оснащена автоматическим перемещением магнита с возможностью изменения температуры и многофункциональным программным обеспечением для анализа измерений. Система автоматизирована таким образом, что позволяет без вмешательства пользователя плавно переходить к заданной температуре, стабилизироваться, проводить измерения (включая автоматическое перемещение магнита), и отображать зависимости различных свойств материала от температуры. В частности, системой могут быть получены следующие зависимости: концентрации от температуры, удельного сопротивления от температуры, коэффициента Холла от температуры, удельной проводимости от температуры и др. Отображение результатов возможно как в виде таблицы, так и виде графиков.
Система HMS7000 позволяет выполнять измерения электрических параметров по методу фото-Холла, при котором измерения электрических параметров проводятся в зависимости от длины волны, падающей на тестируемый образец. Система HMS7000 позволяет получить зависимости плотности и подвижности носителей заряда, удельного. сопротивления и коэффициента Холла от длины волны падающего излучения.
HMS3000 | HMS3300 | HMS3500 | HMS5000 | HMS5300 | HMS5300LTH | HMS5500 | HMS7000 | |
Ток вх | 1 нA – 20 мA | |||||||
Удельное сопротивление, Ом‧см | 10-4~107 | |||||||
Концентрация, 1/см3 | 107~1021 | |||||||
Подвижность, см3/В‧с | 1~107 | |||||||
Плотность магнитного потока, Т |
0.27 0.31 0.37 0.51 1 |
0.51 | ||||||
Температура | Жидкий Азот или комнатная | до 300°С | до 500°С |
80~350К Точность поддержания температуры ±0,5°С |
для магнитов AMP55T 80~350К Точность поддержания температуры ±0,5°С для магнитов AHT55T3 RT~573К Точность поддержания температуры ±1°C |
80~573К Точность поддержания температуры ±0,5°С |
для магнитов AMP55T 80~350К, Точность поддержания температуры ±0,5°С для магнитов AHT55T5 RT~773К Точность поддержания температуры ±1°C |
Комнатная (± 0.03°С) |
Тестовая плата |
Серия SPCB 5 x 5 ~ 20 x 20 мм и 15 x 15 ~ 30 x 30 мм Толщина образца менее 2 ~5.5 мм |
Серия SPCB 5 x 5 ~ 20 x 20 мм и 15 x 15 ~ 30 x 30 мм Толщина образца до 5.5 мм |
Серия SPCB 5 x 5 ~ 20 x 20 мм и 15 x 15 ~ 30 x 30 мм Толщина образца до 5.5 мм |
Серия SPCB 5 x 5 ~ 20 x 20 мм Толщина образца менее 2 мм | 5 x 5 ~ 20 x 20 мм Толщина образца менее 2 мм | 5 x 5 ~ 20 x 20 мм Толщина образца до 3 мм | 5 x 5 ~ 20 x 20 мм Толщина образца менее 2 мм |
Серия 5 x 5 ~ 20 x 20 мм Толщина образца менее 2 мм |
Измеряемая структура | 3D образец | |||||||
Измеряемые параметры |
- объемная и слоевая концентрация носителей заряда - удельное сопротивление - подвижность, коэффициент Холла - магнито-сопротивление - альфа (вертикальное/горизонтальное соотношение сопротивлений) |
|||||||
Измеряемые материалы | Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, TCO (включая ITO), AlZnO, FeCdTe, ZnO и другие полупроводниковые материалы (N/P-типов) | |||||||
Габаритные размеры |
измеритель 360×300×105 мм измерительная ячейка 200×120×110 мм |
измеритель 360×300×105 мм | измеритель 360×300×105 мм | измеритель 440×420×140 мм набор с магнитами 700х220х280 мм | измеритель 440х420х140 мм модуль с магнитами АМР55Т 700х220х280 мм, модуль с магнитами AHT55Т3 670х210х250 мм | измеритель 440х420х140 мм модуль с магнитами АМР55Т 700х220х280 мм, модуль с магнитами AHT55Т3 670х210х250 мм | измеритель 440х420х140 мм модуль с магнитами АМР55ТLTH 680х220х110 мм, модуль с магнитами AHT55Т3 670х210х250 мм | измеритель 440х420х140 мм держатель образца и набор магнитов 700х220х280 мм |
Вес | 7.7 кг | измеритель: 7.7 кг набор с магнитами: 15 кг | измеритель: 7.7 кг набор с магнитами: 15 кг | измеритель: 8.5 кг набор с магнитами: 15.5 кг | измеритель: 8.5 кг модуль с магнитами АМР55Т:15.5 кг модуль с магнитами АМР55Т3: 15 кг | измеритель: 8.5 кг модуль с магнитами АМР55TLTH: 16 кг | измеритель 8.5 кг модуль с магнитами АМР55Т: 15.5 кг модуль с магнитами АМР55Т5: 15 кг | измеритель: 8.5 кг держатель образца и набор магнитов: 15 кг |