Зондовые станции EPS компании Ecopia применяются в микроэлектронике для зондового контроля электрических параметров полупроводниковых приборов. Это оборудование может работать как с отдельными корпусированными приборами, так и с целыми пластинами с готовыми кристаллами, но еще не разделенными на отдельные чипы. Разнообразные аксессуары, опции и дополнительные модули позволяют получать зависимости электрических параметров приборов от различных воздействий (напряжения, тока, частоты, температуры, внешней среды и т.д.).
В зависимости от модели, зондовые станции EPS оснащаются держателями образцов размером от 4” до 8”, имеют возможность нагрева и охлаждения держателя в диапазоне от -193 °C до 300 °C, могут быть оснащены микроскопом с CCD камерой и иметь до 6-ти манипуляторов.
Технические характеристики
| EPS300 | EPS500 | EPS1000 | Примечание | |
| Размер держателя | 100 мм | 150 мм | 150 мм | 200 мм держатель - опция |
| Микроскоп с перемещаемым по XY рабочим столиком | Опция | Опция | Опция | - |
| Микроскоп | Х90~Х1000 | Х90~Х1000 | Х90~Х1000 | - |
| ПЗС камера | Опция | Опция | Опция | - |
| Поворот держателя | Отсутствует | 360° | 360° | - |
| Перемещение XYZ |
Х: 50 мм Y: 50 мм Z: 12 мм |
Х: 100 мм Y: 100 мм Z: 25 мм |
Х: 100 мм Y: 100 мм Z: 40 мм |
EPS1000 имеет рычаг для поднятия по оси Z основного модуля |
| Держатель с нагревом (от комнатной до 300°С) | Опция | Опция | Опция | - |
| Держатель с нагревом (от 0°С до 300°С) | Опция | Опция | Опция | - |
| Габаритные размеры | 450х500х550 мм | 450х500х550 мм | 575х485х430 мм | Может измениться в зависимости от выбранных опций |
| Вес | 13~15 кг | 13~15 кг | 27 кг | Может измениться в зависимости от выбранных опций |