Физические характеристики микроэлектронных чипов

EMPS

Компактные зондовые станции для контроля электрических параметров образцов в зависимости от температуры или длины волны освещения, падающего на образец.
Микрозондовая станция Ecopia EMPS предназначена для измерений при комнатной температуре в вакууме или при переменной температуре в условиях вакуума.
Установки могут быть укомплектованы опциями для измерений при освещении с разными длинами волн или измерения светоизлучающих структур.

Технические характеристики

EMPS-RT

EMPS-RT573

EMPS-80573

Температурный диапазон измерений

комнатная

от 80 К до комнатной

от 80 К до 573 К

Максимальная скорость нагрева/охлаждения, С°

-

20

Разрешение по температуре, К

-

0.1

Размер камеры (ШхДхВ, мм)

185х135х42

Размер рабочего стола, мм

20х20

Диаметр смотрового окна, мм

38

Материал смотрового окна

Кварц

Регулировка зондовой головки, мм

±2

Ход зонда, мм

12

Вакуумный тест, торр при комнатной температуре

10-3

Вакуумные фитинги, Swagelog

1\4”

Вес, кг

2±0.3

Ток утечки, рА

<100

Максимальное DC напряжение, В

500

Максимальное DC ток, mA

1000

Максимальная частота, МГц

<30

Top