Физические характеристики микроэлектронных чипов
Компактные зондовые станции для контроля электрических параметров образцов в зависимости от температуры или длины волны освещения, падающего на образец.
Микрозондовая станция Ecopia EMPS предназначена для измерений в вакуумных условиях при фиксированной и переменной температуре образца.
Установки могут быть укомплектованы опциями для измерений при освещении с разными длинами волн или измерения светоизлучающих структур.
|
EMPS-RT |
EMPS-RT573 |
EMPS-80573 |
|
|
Температурный диапазон измерений |
комнатная |
от 80 К до комнатной |
от 80 К до 573 К |
|
Максимальная скорость нагрева/охлаждения, С° |
- |
20 |
|
|
Разрешение по температуре, К |
- |
0.1 |
|
|
Размер камеры (ШхДхВ, мм) |
185х135х42 |
||
|
Размер рабочего стола, мм |
20х20 |
||
|
Диаметр смотрового окна, мм |
38 |
||
|
Материал смотрового окна |
Кварц |
||
|
Регулировка зондовой головки, мм |
±2 |
||
|
Ход зонда, мм |
12 |
||
|
Вакуумный тест, торр при комнатной температуре |
10-3 |
||
|
Вакуумные фитинги, Swagelog |
1\4” |
||
|
Вес, кг |
2±0.3 |
||
|
Ток утечки, рА |
<100 |
||
|
Максимальное DC напряжение, В |
500 |
||
|
Максимальное DC ток, mA |
1000 |
||
|
Максимальная частота, МГц |
<30 |
||