Зондовая станция ETCP-2000 включает цилиндрическую вакуумную камеру и позволяет проводить исследования и измерения образцов при давлении до 8∙10-3 торр и при температурах в диапазоне от 80 до 573 К.
Технические характеристики
|
Держатель |
|
|
Размер образов |
до 100 мм |
|
Перемещение по осям XY |
±20 мм |
|
Опции |
- вакуумный с контролем температуры - нагрев от комнатной температуры до 300°C - охлаждение и нагрев в диапазоне 80-573К |
|
Микропозиционеры (зондовые головки) |
|
|
Разрешение |
12 ± 2 мкм |
|
Перемещение ХYZ |
в пределах 6x20x6 мм |
|
Базовый набор микропозиционера |
- зажим (с уплотняющим кольцом) - соединительные аксессуары - коаксиальный кабель с разъемом BNC |
|
Цилиндрическая камера |
|
|
Предельное давление |
8∙10-3 Торр |
|
Размеры (диаметр х высота) |
Ø370 х 230 мм |
|
Материал |
нержавеющая сталь |
|
Присоединительные фланцы |
NW |
|
Микроскоп |
|
|
Увеличение |
0.63-5X |
|
Поле зрения |
20.5~2.5 мм |
|
Адаптер |
2Х |
|
Линзы |
1Х |
|
Рабочее расстояние |
95-130 мм |
|
Подсветка |
кольцевой осветитель 60 LED |