Системы контроля толщины пленок

Системы оптического контроля многослойных оптических покрытий Intellemetrics

Система оптического контроля Optical Monitor предназначена для контроля процесса нанесения всех видов оптических покрытий в автоматическом режиме на различных типах вакуумного технологического оборудования. Оптическая система контроля Intellemetrics может работать как по пропусканию, так и по отражению, с неподвижным или перемещающимся образцом/свидетелем. Опционально поставляется Test Glass Changer с 10-ю позициями под стекла-свидетели и 6-ти позиционным кварцевым датчиком скорости осаждения.
Основной тип контроля – на пропускание непосредственно по детали или свидетелю, расположенному на вращающемся подложкодержателе. После каждого цикла измерений вычисляется реальная спектральная характеристика полученного в данный момент времени промежуточного покрытия. Программа управления FilmDirector анализирует реальный спектр покрытия в связке с рассчитанной технологической последовательностью и определяет точку остановки для каждого слоя. Интеграция с системой управления вакуумной установки позволяет реализовать полный процесс напыления покрытия в автоматическом режиме. Для первичного моделирования свойств и процесса осаждения многослойного покрытия используется программа FilmMaker, входящая в состав поставки.
Комплекс оптического контроля Optical Monitor легко интегрируется в существующие установки и позволяет контролировать процессы нанесения всех видов оптических покрытий на различных типах вакуумного технологического оборудования. Intellemetrics Optical Monitor успешно применяется в установках осаждения известных производителей: Oxford Instruments Plasma Technology, Tecport Optics, Meyer Burger, Scia Systems, Korea Vac-Tec, Plassys, Veeco, Leybold Optics и др. Накопленный компанией Intellemetrics опыт позволил создать практически универсальный комплекс оптического контроля и управления, который позволяет с легкостью получать высококачественные многослойные оптические системы.

Технические характеристики

Параметр

Значение

Диапазон длин волн (зависит от модели)

400-1100 нм, 550-1650 нм, 800-2200 нм, 300-1650 нм, 400-1650 нм, 300-2200 нм, 400-2200 нм.

Возможные значения расстояния от источника до подложки и детектора

50-4000 мм

Режим работы

пропускание/отражение

Размер пятна света на подложке или свидетеле

5-12 мм

Типичное отношение сигнал/шум для тестового стекла

0,05%

Типы многослойных покрытий

четвертьволновые и не четвертьволновые

Области применения

многослойные оптические покрытия от ультрафиолетового диапазона до инфракрасного

Скачать

Top