Надежные средства откачки для производства микроэлектроники
Технология утилизации отработанных технологических газов скруббера GRC основана на термически стимулированной химической реакции газовой смеси с многокомпонентным наполнителем картриджа адсорбера и образованием нейтральных химических соединений (стабильных солей). Данная технология применима для широкого спектра технологических газов и требует минимальных затрат энергии при эксплуатации. Послойное заполнение картриджа неорганическими реагентами и автоматическое поддержание постоянной температурной зоны внутри адсорбера обеспечивают гарантированное протекание химической реакции при нормальных потоках и гарантируют отсутствие последующей десорбции опасных газов из отработанного картриджа. Наличие специализированных картриджей для некоторых газов (арсин, аммиак) позволяют существенно повысить суммарный объем очистки в случае использования таких компонентов. Заполненный картридж подлежит утилизации в качестве твердого промышленного отхода. Исключение составляют картриджи типа JY, применяемые для утилизации арсина, которые содержат оксиды мышьяка и подлежат утилизации в соответствии с правилами утилизации отходов мышьяка, установленными в РФ.
Основные преимущества скруббера GRC:
Питание |
380 В, 50 Гц, 3ф |
Потребляемая мощность в стационарном режиме, кВт |
0.7 - 1.0 (1.08 – с опциями TMS и i) |
Минимальный поток газа, л/мин |
5 |
Максимальный поток газа, л/мин |
60 |
Емкость картриджа |
эквивалент 2500 л Сl2 |
Время разогрева до стационарной температуры, мин |
60 |
Входное/выходное соединение |
NW40 |
Вес с картриджем, кг |
204 (211 – с TMS, 257 – с опцией i) |
Требования к месту установки |
|
Температура окружающей среды, оС |
5 – 40 |
Влажность, % |
30 – 95 |
Вытяжная вентиляция, м3/час, не менее |
200 |
Давление газообразного азота, атм |
2.5 - 3 |
Поток газообразного азота, л/мин |
5 |
Сжатый воздух (для пневматики), атм |
5 - 6 |
Дополнительно сжатый воздух (для опции i), л/мин |
3 |