Системы очистки отработанных газов для микроэлектронных производств

GRC

Технология утилизации отработанных технологических газов скруббера GRC основана на термически стимулированной химической реакции газовой смеси с многокомпонентным наполнителем картриджа адсорбера и образованием нейтральных химических соединений (стабильных солей). Данная технология применима для широкого спектра технологических газов и требует минимальных затрат энергии при эксплуатации. Послойное заполнение картриджа неорганическими реагентами и автоматическое поддержание постоянной температурной зоны внутри адсорбера обеспечивают гарантированное протекание химической реакции при нормальных потоках и гарантируют отсутствие последующей десорбции опасных газов из отработанного картриджа. Наличие специализированных картриджей для некоторых газов (арсин, аммиак) позволяют существенно повысить суммарный объем очистки в случае использования таких компонентов. Заполненный картридж подлежит утилизации в качестве твердого промышленного отхода. Исключение составляют картриджи типа JY, применяемые для утилизации арсина, которые содержат оксиды мышьяка и подлежат утилизации в соответствии с правилами утилизации отходов мышьяка, установленными в РФ.

Основные преимущества скруббера GRC:

  • Полное химическое преобразование отработанных газов в стабильные инертные соли
  • Простая эксплуатация
  • Транспортная тележка для легкой замены картриджей
  • Безмасляная система
  • Интуитивно понятная система контроля состояния картриджа
  • Возможность нагрева входных магистралей
  • Отсутствие обратного натекания паров воды
  • Отсутствие процессов горения и необходимости подачи топливной смеси

Технические характеристики

Питание

380 В, 50 Гц, 3ф

Потребляемая мощность в стационарном режиме, кВт

0.7 - 1.0 (1.08 – с опциями TMS и i)

Минимальный поток газа, л/мин

5

Максимальный поток газа, л/мин

60

Емкость картриджа

эквивалент 2500 л Сl2

Время разогрева до стационарной температуры, мин

60

Входное/выходное соединение

NW40

Вес с картриджем, кг

204 (211 – с TMS, 257 – с опцией i)

Требования к месту установки

Температура окружающей среды, оС

5 – 40

Влажность, %

30 – 95

Вытяжная вентиляция, м3/час, не менее

200

Давление газообразного азота, атм

2.5 - 3

Поток газообразного азота, л/мин

5

Сжатый воздух (для пневматики), атм

5 - 6

Дополнительно сжатый воздух (для опции i), л/мин

3

Top