Системы очистки отработанных газов для микроэлектронных производств
Компания Edwards является надежным поставщиком решений для очистки выхлопа технологических установок для большинства крупных мировых полупроводниковых производств. Основным приоритетом разработок является гарантия безопасности и экологичности с одновременной минимизацией расходов на очистку. Скрубберы Edwards обеспечивают высокое время непрерывной работы технологической линии, высокую производительность, безопасность использования, невысокие расходы на эксплуатацию и минимальное влияние на окружающую среду.
Скруббер колонного типа GRC с термически стимулированным преобразованием в стабильные соли для нейтрализации выхлопа технологических установок полупроводниковых производств