Современные технологии требуют точного и быстрого управления подачей дорогих чистых и особо чистых газов. Регуляторы Brooks Instrument обеспечивают точный контроль за счет комбинации ультраустойчивых, высокоточных измерительных датчиков, высокоточных регулирующих клапанов и современной электроники.
Широкий выбор цифровых и аналоговых интерфейсов управления обеспечивает необходимую гибкость при выборе, а также позволяет использовать регуляторы Brooks Instrument в случае необходимости для замены регуляторов других производителей.
В линейке продуктов представлено несколько серий с уникальными особенностями:
- Серия 5850EM. Серия с аналоговым управлением для работы с агрессивными газами
- Серия GF80 – Поддерживает цифровое и аналоговое управление, работу с чистыми газами, опционально включает запатентованную технологию MultiFlo ™
- Серия GF100 – Для работы с чистыми и особо чистыми газами, поддерживает повышенную стабильность, включает запатентованную технологию MultiFlo ™ в базовой комплектации
- GF100 EtherCat - Для работы с чистыми и особо чистыми газами, имеет ультра-стабильный датчик, протокол управления EtherCat
- GF125 – Для работы с особо чистыми газами, сверхбыстрый отклик, нечувствительность к изменению давления, аналоговое и цифровое управление
Основные области применения регуляторов с металлическим уплотнением включают:
- установки вакуумного осаждения
- установки термической резки, термообработки и т.п.
- установки химического и нефтехимического анализа
- аналитические и лабораторные системы, вакуумные системы
Мы всегда рады помочь с выбором оптимального регулятора Brooks Instrument по Вашему запросу.
Технические характеристики
|
Параметр |
GF125 |
GF100 Ethercat |
GF100 |
GF80 |
5850EM |
|
Диапазон расхода газа |
3 ст. см3/мин - 300 л/мин |
Стандарт 3 ст. см3/мин- 55 л/мин Повышенный 55-300 л/мин |
Стандарт 3 ст. см3/мин - 55 л/мин Повышенный 55-300 л/мин |
3 ст. см3/мин - 300 л/мин |
0.06 ст. см3/мин — 30000 ст. см3/мин |
|
Уровень чистоты/ шероховатость поверхности |
0.10-0.13 микрон Ra |
0.13-0.25 микрон Ra |
0.10-0.25 микрон Ra |
0.41микрон Ra |
Нержавеющая сталь 316L VAR и 316L, высоколегированная ферритная нержавеющая сталь |
|
Точность |
±1% УЗ> 35-100% ±0.35% ПШ 2-35% |
Стандартная серия GF: ± 1% УЗ> 20-100%; ± 0.2% ПШ 2-20%
Серия High Flow GF: ± 1% УЗ> 35-100%; ± 0.35% ПШ 2-35%
|
± 1% УЗ> 35-100%
± 0.35% ПШ 2-35%
|
± 1% УЗ 35-100%
± 0.35% ПШ <5-35%
|
1% ПШ 1.5% ПШ > 20 л/мин
|
|
Воспроизводимость |
<±0.15% УЗ |
<±0.15% УЗ |
<±0.15% УЗ |
<±0.2% УЗ |
<±0.2% УЗ |
|
Время срабатывания |
300 мс - <1 сек |
Нормально закрытый клапан: 300 мс - <1 сек
Режим SDS: <3 сек |
Нормально закрытый клапан: 700 мс - <1 сек
Режим SDS: <3 сек
|
Нормально закрытый клапан: <1 сек |
Нормально закрытый клапан: <3 сек
Опция: 600 мсек
|
|
Нечувствительность к изменению давления |
<5% УЗ при скачке давления наверх до 0.34 бар/с |
Доступна в некоторых моделях |
- |
- |
- |
|
Технология MultiFlo™
|
MultiFlo ™ стандарт (большинство моделей) |
MultiFlo ™ стандарт (большинство моделей) |
MultiFlo ™ стандарт (большинство моделей) |
MultiFlo ™ Опция |
Отсутствует |
|
Диагностический порт |
Наличие |
Наличие |
Наличие |
Наличие |
Отсутствует |
|
Аналоговое управление, возможные диапазоны по току или напряжению |
0-5 В |
- |
0-5 В |
0-20 мА 4-20 мА 0-5 В 0-10 В |
4-20 мА 0-5 В
|
|
Цифровой интерфейс |
DeviceNet ™ RS485 L-протокол |
EtherCAT® |
DeviceNet ™ RS485 L-протокол
|
DeviceNet ™ Profibus® RS485 S-протокол RS485 L-протокол RS485 A-протокол (GF081)
|
- |
ПШ – полная шкала (full scale)
УЗ- установленное значение (set point)