Регуляторы давления, регуляторы и измерители расхода, датчики давления

Регуляторы расхода с металлическим уплотнением

Современные технологии требуют точного и быстрого управления подачей дорогих чистых и особо чистых газов. Регуляторы Brooks Instrument обеспечивают точный контроль за счет комбинации ультраустойчивых, высокоточных измерительных датчиков, высокоточных регулирующих клапанов и современной электроники.
Широкий выбор цифровых и аналоговых интерфейсов управления обеспечивает необходимую гибкость при выборе, а также позволяет использовать регуляторы Brooks Instrument в случае необходимости для замены регуляторов других производителей.
В линейке продуктов представлено несколько серий с уникальными особенностями:

  • Серия 5850EM. Серия с аналоговым управлением для работы с агрессивными газами
  • Серия GF80 – Поддерживает цифровое и аналоговое управление, работу с чистыми газами, опционально включает запатентованную технологию MultiFlo ™
  • Серия GF100 – Для работы с чистыми и особо чистыми газами, поддерживает повышенную стабильность, включает запатентованную технологию MultiFlo ™ в базовой комплектации
  • GF100 EtherCat - Для работы с чистыми и особо чистыми газами, имеет ультра-стабильный датчик, протокол управления EtherCat
  • GF125 – Для работы с особо чистыми газами, сверхбыстрый отклик, нечувствительность к изменению давления, аналоговое и цифровое управление

Основные области применения регуляторов с металлическим уплотнением включают:

  • установки вакуумного осаждения
  • установки термической резки, термообработки и т.п.
  • установки химического и нефтехимического анализа
  • аналитические и лабораторные системы, вакуумные системы

Мы всегда рады помочь с выбором оптимального регулятора Brooks Instrument по Вашему запросу.

Технические характеристики

Параметр

GF125

GF100 Ethercat

GF100

GF80

5850EM

Диапазон расхода газа

3 ст. см3/мин - 300 л/мин

Стандарт 3 ст. см3/мин- 55 л/мин

Повышенный 55-300 л/мин

Стандарт 3 ст. см3/мин - 55 л/мин

Повышенный 55-300 л/мин

3 ст. см3/мин - 300 л/мин

0.06 ст. см3/мин — 30000 ст. см3/мин

Уровень чистоты/ шероховатость поверхности

0.10-0.13 микрон Ra

0.13-0.25 микрон Ra

0.10-0.25 микрон Ra

0.41микрон Ra

Нержавеющая сталь 316L VAR и 316L, высоколегированная ферритная нержавеющая сталь

Точность

±1% УЗ> 35-100%

±0.35% ПШ 2-35%

Стандартная серия GF: ± 1% УЗ> 20-100%; ± 0.2% ПШ 2-20%

Серия High Flow GF: ± 1% УЗ> 35-100%; ± 0.35% ПШ 2-35%

± 1% УЗ> 35-100%

± 0.35% ПШ 2-35%

± 1% УЗ 35-100%

± 0.35% ПШ <5-35%

1% ПШ

1.5% ПШ > 20 л/мин

Воспроизводимость

<±0.15% УЗ

<±0.15% УЗ

<±0.15% УЗ

<±0.2% УЗ

<±0.2% УЗ

Время срабатывания

300 мс - <1 сек

Нормально закрытый клапан: 300 мс - <1 сек

Режим SDS: <3 сек

Нормально закрытый клапан: 700 мс - <1 сек

Режим SDS: <3 сек

Нормально закрытый клапан: <1 сек

Нормально закрытый клапан: <3 сек

Опция: 600 мсек

Нечувствительность к изменению давления

<5% УЗ при скачке давления наверх до 0.34 бар/с

Доступна в некоторых моделях

-

-

-

Технология MultiFlo™

MultiFlo ™ стандарт (большинство моделей)

MultiFlo ™ стандарт (большинство моделей)

MultiFlo ™ стандарт (большинство моделей)

MultiFlo ™ Опция

Отсутствует

Диагностический порт

Наличие

Наличие

Наличие

Наличие

Отсутствует

Аналоговое управление, возможные диапазоны по току или напряжению

0-5 В

-

0-5 В

0-20 мА

4-20 мА

0-5 В

0-10 В

4-20 мА

0-5 В

Цифровой интерфейс

DeviceNet ™

RS485 L-протокол

EtherCAT®

DeviceNet ™

RS485 L-протокол

DeviceNet ™

Profibus®

RS485 S-протокол

RS485 L-протокол

RS485 A-протокол (GF081)

-

ПШ – полная шкала (full scale)

УЗ- установленное значение (set point)

Скачать

Top