Вводы вращения и перемещения в вакуумных объемах

Вакуумные манипуляторы

Многие вакуумные приложения, такие как перенос образцов, диагностическое позиционирование по лучу и позиционирование образцов для анализа, требуют точных манипуляций по одной или нескольким осям. Конструкция вакуумных манипуляторов UHV Design обеспечивает надежные и точные решения. Манипуляторы могут использоваться отдельно или в сочетании с механизмами линейного перемещения и приводами вращения с магнитной связью для создания сложных манипуляторов, обеспечивающих вплоть до шести осей независимого движения.

Основные особенности

    Доступно несколько вариантов перемещения по X, Y и Z осям
  • Минимальный гарантированный срок службы вакуумного сильфона 10000 циклов
  • Возможен монтаж в любой ориентации
  • Большинство конструкций могут быть перестроены под моторизованное или ручное управление по мере необходимости на площадке заказчика

Одноосный манипулятор (Y-shift)
Механизмы линейного перемещения (Y-сдвиги) серии LDM обеспечивают точное, повторяемое осевое выравнивание по Y и могут использоваться в сочетании с манипулятором передачи образца, таким как PowerProbe. Надежные, проверенные в производственных условиях устройства обеспечивают сверхвысоковакуумную совместимость и доступны в двух размерах, обеспечивающих регулировку по оси Y +/-7,5 мм или +/-31 мм, с четырьмя различными комбинациями фиксированных или подвижных фланцев.

Стандартный манипулятор XY (XY Aligner)
Серия XY Aligner обеспечивает возможность перемещения по двум осям (X,Y) для не слишком требовательных приложений. Доступны варианты монтажных фланцев CF40 (2,75” OD), CF63 (4,5” OD) и CF100 (6” OD) с прозрачными отверстиями 38 мм и 65 мм соответственно. Все опции обеспечивают перемещение +/-10 мм по X и Y с типичной повторяемостью 0,5 мм (среднее положение между шагом 1 мм).

Манипулятор повышенной точности (Multibase XY)
Манипулятор Multibase XY является наилучшим выбором как для исследовательских, так и сложных производственных приложений благодаря точности перемещения, совместимостью со сверхвысоковакуумными условиями и прочной конструкции, которая позволяет монтировать манипулятор в любой ориентации.
Конструкция Multibase XY включает в себя два параллельных фланца. Один остается неподвижным, в то время как другой обеспечивает перемещение по осям. Высококачественный, гибкий сварной сильфон охватывает фланцы для обеспечения требуемого перемещения, обеспечивая при этом цельнометаллическое вакуумное уплотнение. Работа устройства заключается в регулировке положения перемещающегося фланца по отношению к монтажному фланцу неподвижной системы.

Компактный манипулятор по трем осям (Tetraxe XYZ)
Манипулятор TETRAXE обеспечивает точное перемещение по осям X, Y и Z с встроенным в сборку монтажного фланца наклоном +/-2o. Прочная конструкция в сочетании с ультракомпактными размерами делают TETRAXE идеальной платформой для манипуляторов в условиях ограниченного пространства. При необходимости, манипулятор позволяет перемещать как X, так и Y приводы в альтернативные положения, чтобы избежать механических столкновений. TETRAXE доступен в ручных или моторизованных конфигурациях с возможностью перехода от ручного управления к моторизации на площадке заказчика. Манипуляторы TETRAXE могут сочетаться с дополнительными компонентами, такими как вводы вращения, сервисные фланцы и специальные валы для создания сложных вариантов перемещений.

Манипулятор по трем осям (XY + LSM)
Многоступенчатые манипуляторы обеспечивают точное перемещение по осям X, Y и Z. Их прочная конструкция обеспечивает стабильную платформу, которая может быть смонтирована в любой ориентации.
Линейка является модульной и использует манипуляторы XY для обеспечения двух универсальных платформ, предлагающих +/-14 мм, +/-31 мм или +/- 57 мм перемещения (векторная сумма X и Y). Затем на эти платформы могут быть установлены различные механизмы линейного перемещения, обеспечивающие Z-ход от 100 мм до 1000 мм.
Многоступенчатые манипуляторы предлагаются с ручным или моторизованным приводом. Ручное управление XY осуществляется с помощью комбинированного микрометрического маховика в сборе с линейной шкалой. Ручное движение Z может быть оснащено шкалой с шагом 1 мм. Также доступны решения с приводом от постоянного тока и шагового двигателя, а также системы управления с возможностью апгрейда на площадке заказчика.
Сочетание многоступенчатой системы с приводами вращения MagiDrive UHV Design позволяет передавать вращательное движение через центр манипулятора. Кроме того, MagiDrive с полым валом позволяет подключать линии нагрева или охлаждения, сигнальные и силовые кабели через вал. Конфигурация с полым валом позволяет комбинировать магнитные приводы для обеспечения дополнительных независимых осей вращения. Таким образом, три оси движения, уже предусмотренные многоступенчатой системой, могут быть дополнены еще тремя осями.

Технические характеристики

Конфигуратор стандартной серии (ссылка)

Модель

Фланец подвижный

Фланец фиксированный

Проходное отверстие/максимальный диаметр зонда

Максимальная аксиальная нагрузка

Максимальный консольный момент

Y-shift

LDM64-38

FC38 (2-3/4”)

FC64 (4-1/2”)

38/36 мм

200 Н

20 Нм

LDM64-64

FC64 (4-1/2”)

FC64 (4-1/2”)

60/45 мм

200 Н

20 Нм

LDM100-38

FC38 (2-3/4”)

FC100 (6”)

38/28 мм

200 Н

20 Нм

LDM100-64

FC64 (4-1/2”)

FC100 (6”)

60/28 мм

200 Н

20 Нм

XY Aligner

XYA40-40-H

CF38 (2-3/4”)

CF38 (2-3/4”)

38/9.5 мм

100 Н

10 Нм

XYA40-63-H

CF38 (2-3/4”)

CF63 (4-1/2”)

38/9.5 мм

100 Н

10 Нм

XYA63-63-H

CF63 (4-1/2”)

CF63 (4-1/2”)

65/36.5 мм

100 Н

10 Нм

XYA63-100-H

CF63 (4-1/2”)

CF100 (6”)

65/36.5 мм

100 Н

10 Нм

MultiBase XY

XY14-64-38

CF38 (2-3/4”)

CF64 (4-1/2”)

51/22 мм

200 Н

20 Нм

XY14-100-38

CF38 (2-3/4”)

CF100 (6”)

51/22 мм

200 Н

20 Нм

XY31-100-38

CF38 (2-3/4”)

CF100 (6”)

90/28 мм

200 Н

20 Нм

XY31-100-64

CF64 (4-1/2”)

CF100 (6”)

90/28 мм

200 Н

20 Нм

XY31-150-64

CF64 (4-1/2”)

CF150 (8”)

90/28 мм

200 Н

20 Нм

XY57-150-150

CF150 (8”)

CF150 (8”)

150/36.5 мм

200 Н

20 Нм

TETRAXE

TTX40-40

CF40 (2-3/4”)

CF40 (2-3/4”)

39/13 мм

200 Н

10 Нм

TTX40-100

CF40 (2-3/4”)

CF100 (6”)

39/13 мм

200 Н

10 Нм

TTX63-63

CF63 (4-1/2")

CF63 (4-1/2")

65/22 мм

200 Н

10 Нм

TTX63-100

CF63 (4-1/2")

CF100 (6”)

65/22 мм

200 Н

10 Нм

TTX100-100

CF100 (6”)

CF100 (6”)

102/31 мм

200 Н

10 Нм


Скачать

Top