Вводы вращения и перемещения в вакуумных объемах

Заслонки оптических окон

Заслонки UHV Design предназначены для защиты оптических окон во время процессов вакуумного осаждения, магнетронного напыления и т.п. в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных установках. Для поворота заслонки используется вводы вращения серии MagiDrive UHV Design с магнитной связью. Все заслонки могут приводиться в действие вручную или пневмоприводом, если требуется дистанционное управление. Опционально доступны версии с возможностью 100% перекрытия оптического окна.

Основные особенности

  • Доступно на фланцах CF38-CF150
  • Ручной или пневматический привод
  • Отжиг при температуре 250°C
  • Система контроля трения
  • Возможность 100% полного закрытия окна
  • Опциональный позиционный переключатель

Технические характеристики

Серия

VPS38

VPS64

VPS100

VPS150

Размер монтажного фланца системы (с чистыми отверстиями)

CF38 (2¾" OD CF)

CF64 (4½" OD CF)

CF100 (6" OD CF)

CF150 (8" OD CF)

Перекрытие апертуры (стандарт)

88.40%

90.60%

84.00%

87.00%

Перекрытие апертуры (опционально)

100%

100%

100%

100%

Температура отжига

250°C (без пневматического цилиндра)

Угол поворота (для пневматического привода)

90° (допускает перестройку в диапазоне 30-170°)

Концевой выключатель (для пневматического привода)

5-24 В (2-х проводной геркон)

Максимальная скорость вращения (для пневматического привода)

0.5 сек на 90o

0.5 сек на 90o

1 сек на 90o

1 сек на 90o

Top