Заслонки UHV Design предназначены для защиты оптических окон во время процессов вакуумного осаждения, магнетронного напыления и т.п. в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных установках. Для поворота заслонки используется вводы вращения серии MagiDrive UHV Design с магнитной связью. Все заслонки могут приводиться в действие вручную или пневмоприводом, если требуется дистанционное управление. Опционально доступны версии с возможностью 100% перекрытия оптического окна.
Основные особенности
- Доступно на фланцах CF38-CF150
- Ручной или пневматический привод
- Отжиг при температуре 250°C
- Система контроля трения
- Возможность 100% полного закрытия окна
- Опциональный позиционный переключатель
Технические характеристики
|
Серия |
VPS38 |
VPS64 |
VPS100 |
VPS150 |
|
Размер монтажного фланца системы (с чистыми отверстиями) |
CF38 (2¾" OD CF) |
CF64 (4½" OD CF) |
CF100 (6" OD CF) |
CF150 (8" OD CF) |
|
Перекрытие апертуры (стандарт) |
88.40% |
90.60% |
84.00% |
87.00% |
|
Перекрытие апертуры (опционально) |
100% |
100% |
100% |
100% |
|
Температура отжига |
250°C (без пневматического цилиндра) |
|||
|
Угол поворота (для пневматического привода) |
90° (допускает перестройку в диапазоне 30-170°) |
|||
|
Концевой выключатель (для пневматического привода) |
5-24 В (2-х проводной геркон) |
|||
|
Максимальная скорость вращения (для пневматического привода) |
0.5 сек на 90o |
0.5 сек на 90o |
1 сек на 90o |
1 сек на 90o |