Надежные приводы заслонок на основе серии MagiDrive UHV Design для ионных источников, магнетронов, подложкодержателей и смотровых окон. Выпускаются для широкого спектра применений в семи различных вариантах в соответствии с требованиями к крутящему моменту и размеру.
Основные особенности
- Регулируемый угол (30° - 170°)
- Отказоустойчивая конструкция с магнитной связью
- Отсутствие сильфонов и динамических уплотнений
- Вакуумный отжиг при температуре 250°C
- Нулевой люфт при низкой нагрузке
- Совместимость со сверхвысоковакуумными условиями
Технические характеристики
|
Серия MagiDrive |
||||
|
Соединительный фланец |
CF10 |
CF16 |
CF40 |
CF64 |
|
Угол поворота |
30°-170° (регулируемый) |
|||
|
Максимальный момент |
0.18 Нм |
0.45 & 1.8 Нм |
0.45, 1.8 & 9.0 Нм |
10.0 Нм |
|
Максимальное давление сжатого воздуха на входе |
6.8 бар |
|||
|
Соединительный порт для сжатого воздуха |
Трубка наружный диаметр 4 мм |
|||