Вводы вращения и перемещения в вакуумных объемах

Приводы заслонок

Надежные приводы заслонок на основе серии MagiDrive UHV Design для ионных источников, магнетронов, подложкодержателей и смотровых окон. Выпускаются для широкого спектра применений в семи различных вариантах в соответствии с требованиями к крутящему моменту и размеру.

Основные особенности

  • Регулируемый угол (30° - 170°)
  • Отказоустойчивая конструкция с магнитной связью
  • Отсутствие сильфонов и динамических уплотнений
  • Вакуумный отжиг при температуре 250°C
  • Нулевой люфт при низкой нагрузке
  • Совместимость со сверхвысоковакуумными условиями

Технические характеристики

Серия MagiDrive

MD10

MD16

MD40

MD64

Соединительный фланец

CF10
(1" OD CF)

CF16
(1.33" OD CF)

CF40
(2.75" OD CF)

CF64
(4.5" OD CF)

Угол поворота

30°-170° (регулируемый)

Максимальный момент

0.18 Нм

0.45 & 1.8 Нм

0.45, 1.8 & 9.0 Нм

10.0 Нм

Максимальное давление сжатого воздуха на входе

6.8 бар

Соединительный порт для сжатого воздуха

Трубка наружный диаметр 4 мм


Скачать

Top