Расширение линейки эллипсометров Film Sense
Компания Film Sense выпустила на рынок новые 4-х и 6-ти волновые эллипсометры с улучшенными характеристиками.
Модель FS-1 Gen. 2 представляет собой 4 –х волновую версию (450 - 660 нм), которая идеально подходит для измерений прозрачных пленок 0 - 2000 нм и «металлических» пленок толщиной до 50 нм.
Модель FS-1EX - базовая 6-ти волновая версия с диапазоном 405 - 950 нм предназначена для измерения прозрачных пленок толщиной 0-5000 нм и поглощающих пленок (poly-Si, SiGe, a-Si) толщиной до 200 нм.
Модель FS-1UV - 6-ти волновая версия, включающая два источника УФ диапазона (280 и 305 нм) выше запрещенной зоны большинства полупроводниковых материалов. Что позволяет улучшить чувствительность к составу измеряемой пленки и улучшенный контраст коэффициента преломления при измерениях на прозрачных подложках и пленках.
| длина волны (нм) |
|||||||||||||
| система | кол-во светодиодов |
280 | 305 | 405 | 450 | 465 | 525 | 595 | 635 | 660 | 850 |
950 | |
| FS-1 | 4 | x | x | x | x | ||||||||
| FS-1 gen 2 |
4 | x | x | x | x | ||||||||
| FS-1EX | 6 | x | x | x | x | x | x | ||||||
| FS-1UV | 6 | x | x | x | x | x | x | ||||||