Расширение линейки эллипсометров Film Sense

Расширение линейки эллипсометров Film Sense

31.12.2020
Расширение линейки эллипсометров Film Sense

Компания Film Sense выпустила на рынок новые 4-х и 6-ти волновые эллипсометры с улучшенными характеристиками.
Модель FS-1 Gen. 2 представляет собой 4 –х волновую версию (450 - 660 нм), которая идеально подходит для измерений прозрачных пленок 0 - 2000 нм и «металлических» пленок толщиной до 50 нм.
Модель FS-1EX - базовая 6-ти волновая версия с диапазоном 405 - 950 нм предназначена для измерения прозрачных пленок толщиной 0-5000 нм и поглощающих пленок (poly-Si, SiGe, a-Si) толщиной до 200 нм.
Модель FS-1UV - 6-ти волновая версия, включающая два источника УФ диапазона (280 и 305 нм) выше запрещенной зоны большинства полупроводниковых материалов. Что позволяет улучшить чувствительность к составу измеряемой пленки и улучшенный контраст коэффициента преломления при измерениях на прозрачных подложках и пленках.

длина волны (нм)
система
кол-во
светодиодов
280 305 405 450 465 525 595 635 660 850
950
FS-1 4 x x x x
FS-1 gen 2
4 x x x x
FS-1EX 6 x x x x x x
FS-1UV 6 x x x x x x

Top