Турбомолекулярные насосы
Серия турбомолекулярных насосов для измерительного оборудования (FF Instruments) включает компактные, высокопроизводительные насосы со скоростями откачки 22–300 л/с. Насосы совместимы с модельным рядом форвакуумных насосов KYKY и обладают увеличенной скоростью откачки лёгких газов с низкой температурой конденсации (Н2 и т.п.), оснащены встроенным контроллером с питанием 24В, что облегчает интеграцию насоса и его работу с другим оборудованием.
Модель | FF-40/25 | FF-63/80 | FF-100/150 | FF-100/300 | ||||
Входной фланец | DN40 ISO-KF |
DN63 CF
DN63 ISO-K |
DN100 CF
DN100 ISO-K |
DN100 CF
DN100 ISO-K |
||||
Выходной фланец | DN16 ISO – KF | DN25 ISO – KF | ||||||
Скорость откачки (л/с) | N2 | 20 | 82 | 140 | 296 | |||
He | 18 | 87 | 130 | 250 | ||||
Н2 | 11 | 58 | 75 | 200 | ||||
Ar | 25 | 44 | 146 | 305 | ||||
Степень сжатия | N2 | 106 | 103 | 107 | 109 | |||
He | 6·102 | 103 | 6·103 | 6·105 | ||||
Н2 | 102 | 103 | 103 | 105 | ||||
Ar | 106 | 108 | 107 | 109 | ||||
Предельное давление (Па) | CF | - | 8·10-7 | 2·10-7 | 2·10-7 | |||
ISO-K | ≤5·10-4 | 7·10-6 | 2·10-6 | 2·10-6 | ||||
Максимальное постоянное выпускное давление (Па) | 500 | 200 | 220 | 500 | ||||
Максимальное выпускное давление (форвакуум) по азоту (Па) | 1000 | 650 | 500 | 700 | ||||
Производительность (см3/мин) | N2 | 23 | 35 | 135 | 120 | |||
He | 18 | 30 | 80 | 50 | ||||
Н2 | 12 | 19 | 52 | - | ||||
Ar | 28 | 38 | 143 | - | ||||
Скорость вращения (об/мин) | 30 000 | 72 000 | 51 000 | 51 000 | ||||
Время разгона (мин) | <3 | <3.5 | ||||||
Охлаждение (стандартное исполнение) | воздушное | водяное или воздушное | ||||||
Расход охлаждающей воды (л/мин) | - | 1 | ||||||
Температура охлаждающей воды (оС | - | <25 | ||||||
Напряжение питания | 24В ПТ/ 220В, 50Гц | |||||||
Максимальная потребляемая мощность (Вт) | 70 | 90 | 220 | |||||
Модель контроллера | TD-25/TCP-100/TC-100 | |||||||
Требуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с) | 0.5÷2 | 2 | ||||||
Вес (кг) | 3 | 6.5 | 8.6 | 11 |