Турбомолекулярные насосы

Серия FF для измерительного оборудования

Серия турбомолекулярных насосов для измерительного оборудования (FF Instruments) включает компактные, высокопроизводительные насосы со скоростями откачки 22–300 л/с. Насосы совместимы с модельным рядом форвакуумных насосов KYKY и обладают увеличенной скоростью откачки лёгких газов с низкой температурой конденсации (Н2 и т.п.), оснащены встроенным контроллером с питанием 24В, что облегчает интеграцию насоса и его работу с другим оборудованием.

Технические характеристики

Модель FF-40/25 FF-63/80 FF-100/150 FF-100/300
Входной фланец DN40 ISO-KF DN63 CF
DN63 ISO-K
DN100 CF
DN100 ISO-K
DN100 CF
DN100 ISO-K
Выходной фланец DN16 ISO – KF DN25 ISO – KF
Скорость откачки (л/с) N2 20 82 140 296
He 18 87 130 250
Н2 11 58 75 200
Ar 25 44 146 305
Степень сжатия N2 106 103 107 109
He 6·102 103 6·103 6·105
Н2 102 103 103 105
Ar 106 108 107 109
Предельное давление (Па) CF - 8·10-7 2·10-7 2·10-7
ISO-K ≤5·10-4 7·10-6 2·10-6 2·10-6
Максимальное постоянное выпускное давление (Па) 500 200 220 500
Максимальное выпускное давление (форвакуум) по азоту (Па) 1000 650 500 700
Производительность (см3/мин) N2 23 35 135 120
He 18 30 80 50
Н2 12 19 52 -
Ar 28 38 143 -
Скорость вращения (об/мин) 30 000 72 000 51 000 51 000
Время разгона (мин) <3 <3.5
Охлаждение (стандартное исполнение) воздушное водяное или воздушное
Расход охлаждающей воды (л/мин) - 1
Температура охлаждающей воды (оС - <25
Напряжение питания 24В ПТ/ 220В, 50Гц
Максимальная потребляемая мощность (Вт) 70 90 220
Модель контроллера TD-25/TCP-100/TC-100
Требуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с) 0.5÷2 2
Вес (кг) 3 6.5 8.6 11

Скачать

Top