Турбомолекулярные насосы

Серия FF на подшипниках с консистентной смазкой

 Серия FF современных турбомолекулярных насосов на керамических подшипниках с большим ресурсом. Консистентный тип смазок относится к пластичным материалам, которые обладают особым свойством — тиксотропией. Это означает, что в состоянии покоя смазка сохраняет густую консистенцию, а при механическом воздействии (например, движении деталей) временно разжижается, чтобы равномерно распределиться по поверхности, после чего снова загустевает. Основная функция таких смазок — создание надежного уплотнения и снижение трения в подвижных и неподвижных соединениях вакуумного оборудования.
 Турбомолекулярные насосы, использующие подшипники качения с консистентной смазкой, представляют собой класс высокоскоростных вакуумных насосов. Их особенностью является конструкция опорных узлов. В отличие от насосов с магнитными или керамическими подшипниками с масляным картриджем, здесь применяются прецизионные подшипники качения, в которые на этапе сборки закладывается строго дозированное количество консистентной смазки. Эта смазка должна обладать исключительной стабильностью, низкой испаряемостью и выдерживать экстремальные механические и температурные нагрузки, возникающие при работе ротора на скоростях в десятки тысяч оборотов в минуту. Основным преимуществом такой конструкции является ее относительная простота и надежность, что приводит к снижению стоимости насоса и системы управления по сравнению с моделями на магнитных подшипниках. Не требуются сложная система продувки или маслостанции, что упрощает интеграцию в вакуумное оборудование. Но срок службы смазки является конечным и зависит от режимов работы, в частности от температурных нагрузок. Со временем смазка может деградировать, терять свои свойства и требовать обслуживания, что предполагает периодическую замену подшипников и повторную смазку, которую должны проводить квалифицированные специалисты. Такие насосы могут быть более чувствительны к вибрациям по сравнению с насосами на магнитном подвесе и, как правило, не предназначены для работы в условиях сильной вибрации или переменных нагрузок.
 Турбомолекулярные насосы с консистентной смазкой подходят для решения множества задач, где требуется надежный высокий вакуум, но не предъявляются повышенные требования к чистоте вакуумной среды или сроку эксплуатации без обслуживания. Они широко используются в научном приборостроении, например, в масс-спектрометрах, электронных микроскопах и ускорителях частиц. В промышленности они находят применение в производстве полупроводников, в процессах напыления тонких пленок и в вакуумных печах. Таким образом, эти насосы представляют собой сбалансированное по цене и производительности решение для стационарных вакуумных систем, где допустимо плановое техническое обслуживание.

Основные особенности

  • допускают установку в любом положении
  • обеспечивают достаточно чистый вакуум в откачиваемом объёме
  • периодичность обслуживания 3-5 лет
  • просты в использовании и демонстрируют стабильную производительность

Технические характеристики

Модель

FF-100/110 FF-160/700 FF-160/700F FF-160/700N
FF-160/700A
Входной фланец

DN100 CF
DN100 ISO-K

DN160 CF
DN160 ISO-K

Выходной фланец DN25 ISO – KF DN40 ISO – KF
Скорость откачки (л/с)

N2

110

700

He 100 580
Н2 50 260
Ar 100 680
Степень сжатия N2 108 109
He 102 107
Н2 5·102 6·106
Ar 108 109
Предельное давление (Па) СF 6·10-7 6·10-8
ISO-K 6·10-6 6·10-7
Максимальное постоянное выпускное давление (Па) 200 300
Максимальное выпускное давление (форвакуум) по азоту (Па) 300 550
Производительность (см3/мин) N2 300 1400
He 240 1000
Н2 180 800
Ar 110 550
Скорость вращения (об/мин) 42 300 36 000
Время разгона (мин) <3 <7
Охлаждение воздушное (5÷32оС) водяное воздушное/водяное водяное
Расход охлаждающей воды (л/мин) - >1
Температура охлаждающей воды (оС) - <25
Питание 220В, 50Гц 24В ПТ/ 220В, 50Гц 220В, 50Гц
Максимальная потребляемая мощность (Вт) <300 <500
Модель контроллера FD-110B TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II
Требуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с) 2 4÷8
Вес (кг) 8 19/20.5 (CF) 23/24.5 (CF) 19/20.5 (CF)

Модель FF-200/1300 FF-200/1300F FF-200/1300N
FF-200/1300A
FF-250/2000
FF-250/2000 A/N
Входной фланец DN200 CF
DN200 ISO-K
DN200 CF
DN200 ISO-K
DN200 CF
DN200 ISO-K
DN250 CF
DN250 ISO-K
Выходной фланец DN40 ISO – KF DN50 ISO – KF
Скорость откачки (л/c) N2 1300 2000
He 1000 1600
Н2 480 740
Ar 1250 1900
Степень сжатия N2 109
He 104
Н2 6·103
Ar 109
Предельное давление (Па) СF 6·10-7
ISO-K 6·10-6
Максимальное постоянное выпускное давление (Па) 240 200
Максимальное выпускное давление (форвакуум) по азоту (Па) 600 650
Производительность (см3/мин) N2 2500 3200
He 1850 2400
Н2 1450 1850
Ar 900 1200
Скорость вращения (об/мин)

24 000

Время разгона (мин)

<9

Охлаждение водяное воздушное /водяное водяное
Расход охлаждающей воды (л/мин)

>1

Температура охлаждающей воды (оС)

<25

Питание

24В ПТ/ 220В, 50Гц

Максимальная потребляемая мощность (Вт) <300 <500 <750
Модель контроллера

TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II

Требуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с)

15

Вес (кг) 29/31 (CF) 33/35 (CF) 29/31 (CF) 32/35 (CF)

Скачать

Top