Турбомолекулярные насосы
Серия FF современных турбомолекулярных насосов на керамических подшипниках с большим ресурсом. Консистентный тип смазок относится к пластичным материалам, которые обладают особым свойством — тиксотропией. Это означает, что в состоянии покоя смазка сохраняет густую консистенцию, а при механическом воздействии (например, движении деталей) временно разжижается, чтобы равномерно распределиться по поверхности, после чего снова загустевает. Основная функция таких смазок — создание надежного уплотнения и снижение трения в подвижных и неподвижных соединениях вакуумного оборудования.
Турбомолекулярные насосы, использующие подшипники качения с консистентной смазкой, представляют собой класс высокоскоростных вакуумных насосов. Их особенностью является конструкция опорных узлов. В отличие от насосов с магнитными или керамическими подшипниками с масляным картриджем, здесь применяются прецизионные подшипники качения, в которые на этапе сборки закладывается строго дозированное количество консистентной смазки. Эта смазка должна обладать исключительной стабильностью, низкой испаряемостью и выдерживать экстремальные механические и температурные нагрузки, возникающие при работе ротора на скоростях в десятки тысяч оборотов в минуту.
Основным преимуществом такой конструкции является ее относительная простота и надежность, что приводит к снижению стоимости насоса и системы управления по сравнению с моделями на магнитных подшипниках. Не требуются сложная система продувки или маслостанции, что упрощает интеграцию в вакуумное оборудование. Но срок службы смазки является конечным и зависит от режимов работы, в частности от температурных нагрузок. Со временем смазка может деградировать, терять свои свойства и требовать обслуживания, что предполагает периодическую замену подшипников и повторную смазку, которую должны проводить квалифицированные специалисты. Такие насосы могут быть более чувствительны к вибрациям по сравнению с насосами на магнитном подвесе и, как правило, не предназначены для работы в условиях сильной вибрации или переменных нагрузок.
Турбомолекулярные насосы с консистентной смазкой подходят для решения множества задач, где требуется надежный высокий вакуум, но не предъявляются повышенные требования к чистоте вакуумной среды или сроку эксплуатации без обслуживания. Они широко используются в научном приборостроении, например, в масс-спектрометрах, электронных микроскопах и ускорителях частиц. В промышленности они находят применение в производстве полупроводников, в процессах напыления тонких пленок и в вакуумных печах. Таким образом, эти насосы представляют собой сбалансированное по цене и производительности решение для стационарных вакуумных систем, где допустимо плановое техническое обслуживание.
Основные особенности
|
Модель |
FF-100/110 | FF-160/700 | FF-160/700F |
FF-160/700N FF-160/700A |
||
| Входной фланец |
DN100 CF |
DN160 CF |
||||
| Выходной фланец | DN25 ISO – KF | DN40 ISO – KF | ||||
| Скорость откачки (л/с) |
N2 |
110 |
700 |
|||
| He | 100 | 580 | ||||
| Н2 | 50 | 260 | ||||
| Ar | 100 | 680 | ||||
| Степень сжатия | N2 | 108 | 109 | |||
| He | 102 | 107 | ||||
| Н2 | 5·102 | 6·106 | ||||
| Ar | 108 | 109 | ||||
| Предельное давление (Па) | СF | 6·10-7 | 6·10-8 | |||
| ISO-K | 6·10-6 | 6·10-7 | ||||
| Максимальное постоянное выпускное давление (Па) | 200 | 300 | ||||
| Максимальное выпускное давление (форвакуум) по азоту (Па) | 300 | 550 | ||||
| Производительность (см3/мин) | N2 | 300 | 1400 | |||
| He | 240 | 1000 | ||||
| Н2 | 180 | 800 | ||||
| Ar | 110 | 550 | ||||
| Скорость вращения (об/мин) | 42 300 | 36 000 | ||||
| Время разгона (мин) | <3 | <7 | ||||
| Охлаждение | воздушное (5÷32оС) | водяное | воздушное/водяное | водяное | ||
| Расход охлаждающей воды (л/мин) | - | >1 | ||||
| Температура охлаждающей воды (оС) | - | <25 | ||||
| Питание | 220В, 50Гц | 24В ПТ/ 220В, 50Гц | 220В, 50Гц | |||
| Максимальная потребляемая мощность (Вт) | <300 | <500 | ||||
| Модель контроллера | FD-110B | TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II | ||||
| Требуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с) | 2 | 4÷8 | ||||
| Вес (кг) | 8 | 19/20.5 (CF) | 23/24.5 (CF) | 19/20.5 (CF) | ||
| Модель | FF-200/1300 | FF-200/1300F |
FF-200/1300N FF-200/1300A |
FF-250/2000 FF-250/2000 A/N |
||
| Входной фланец |
DN200 CF DN200 ISO-K |
DN200 CF DN200 ISO-K |
DN200 CF DN200 ISO-K |
DN250 CF DN250 ISO-K |
||
| Выходной фланец | DN40 ISO – KF | DN50 ISO – KF | ||||
| Скорость откачки (л/c) | N2 | 1300 | 2000 | |||
| He | 1000 | 1600 | ||||
| Н2 | 480 | 740 | ||||
| Ar | 1250 | 1900 | ||||
| Степень сжатия | N2 | 109 | ||||
| He | 104 | |||||
| Н2 | 6·103 | |||||
| Ar | 109 | |||||
| Предельное давление (Па) | СF | 6·10-7 | ||||
| ISO-K | 6·10-6 | |||||
| Максимальное постоянное выпускное давление (Па) | 240 | 200 | ||||
| Максимальное выпускное давление (форвакуум) по азоту (Па) | 600 | 650 | ||||
| Производительность (см3/мин) | N2 | 2500 | 3200 | |||
| He | 1850 | 2400 | ||||
| Н2 | 1450 | 1850 | ||||
| Ar | 900 | 1200 | ||||
| Скорость вращения (об/мин) |
24 000 |
|||||
| Время разгона (мин) |
<9 |
|||||
| Охлаждение | водяное | воздушное /водяное | водяное | |||
| Расход охлаждающей воды (л/мин) |
>1 |
|||||
| Температура охлаждающей воды (оС) |
<25 |
|||||
| Питание |
24В ПТ/ 220В, 50Гц |
|||||
| Максимальная потребляемая мощность (Вт) | <300 | <500 | <750 | |||
| Модель контроллера |
TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II |
|||||
| Требуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с) |
15 |
|||||
| Вес (кг) | 29/31 (CF) | 33/35 (CF) | 29/31 (CF) | 32/35 (CF) | ||