Серия CXF – турбомолекулярные вакуумные насосы с интегрированным контроллером и полностью магнитным подвесом ротора (и верхний, и нижний подшипники – магнитные). Серия включает ряд из трех моделей (1400, 2300 и 3000 л/с) в различных модификациях.
Основные особенности
- активная технология магнитной стабилизации по 5-ти осям, позволяющая производить установку насоса под любым углом
- высокоточные керамические посадочные подшипники с повышенным сроком службы
- композитная конструкция турбины с молекулярной ступенью на основе углеродного волокна
- постоянные магниты для уменьшения энергопотребления
- автоматическое управление работой ротора, балансировкой, защита от сбоя питания и система управления температурой
- несколько интерфейсов контроллера для внешнего управления
- возможно коррозионностойкое исполнение с продувкой и внешним прогревом
- являются хорошей альтернативой насосам Edwards и Pfeiffer
Технические характеристики
|
Модель |
CXF-200/1401 |
CXF-200/1402 |
CXF-250/2301 |
CXF-250/2302 |
CXF-320/3001 |
CXF-320/3002 |
|
|
Входной фланец |
DN200 ISO F |
DN250 ISO F |
DN320 ISO F |
DN320 ISO F |
|||
|
Выходной фланец |
DN40 ISO-KF |
||||||
|
Скорость откачки (л/с) |
N2 |
1280 |
1400 |
2150 |
2360 |
2950 |
3260 |
|
Ar |
1100 |
1300 |
1900 |
2260 |
2750 |
2900 |
|
|
He |
880 |
1100 |
1500 |
1980 |
2300 |
2550 |
|
|
H2 |
560 |
820 |
850 |
1250 |
1100 |
1730 |
|
|
Степень сжатия |
N2 |
>108 |
|||||
|
Ar |
>108 |
||||||
|
He |
>104 |
||||||
|
H2 |
>103 |
||||||
|
Предельное давление (Па) |
ISO F, LF |
10-7 |
|||||
|
ICF |
10-8 |
- |
|||||
|
Максимальный постоянный поток на входе (ст.см3/мин) |
1100 |
1200 |
1300 |
1500 |
2100 |
2400 |
|
|
Порт продувки (опционально) |
KF10 |
||||||
|
Поток продувочного газа (ст.см3/мин) |
20 |
50 |
|||||
|
Максимальное магнитное поле, радиальное/ аксиальное (мТл) |
3/15 |
||||||
|
Скорость вращения ротора (об/мин) |
30 000 |
33 000 |
27 000 |
30 000 |
21 000 |
24 000 |
|
|
Время разгона (мин) |
≤6 |
≤7 |
≤8 |
≤9 |
≤10 |
||
|
Время остановки (мин) |
≤8 |
≤9 |
≤11 |
≤12 |
≤14 |
||
|
Охлаждение |
водяное |
||||||
|
Расход охлаждающей воды (л/мин) |
2 |
3 |
|||||
|
Температура охлаждающей воды (°C) |
20±5 |
||||||
|
Питание |
220±10%В, 50 Гц, 110±10%В, 60 Гц |
||||||
|
Модель контроллера |
CXFD-1001 |
CXFD-1601 |
|||||
|
Требуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/c) |
≥16 |
≥22 |
≥30 |
||||
|
Вес (кг) |
51 |
60 |
76 |
||||
|
Модель |
CXF- 200/1401CV |
CXF- 250/2301CV |
CXF- 320/3001CV |
CXF- 200/1401CS |
CXF- 250/2301CS |
CXF- 320/3001CS |
|
|
Входной фланец |
DN200 ISO-F |
DN250 ISO-F |
DN320 ISO-F |
DN200 ISO-F |
DN250 ISO-F |
DN320 ISO-F |
|
|
Температура нагрева (°C) |
60÷70 |
- |
|||||
|
Выходной фланец |
DN40 ISO-KF |
||||||
|
Скорость откачки (л/c) |
N2 |
1400 |
2300 |
3000 |
1400 |
2300 |
3000 |
|
Ar |
1360 |
2250 |
2750 |
1360 |
2250 |
2750 |
|
|
He |
880 |
1900 |
2300 |
880 |
1900 |
2300 |
|
|
H2 |
560 |
850 |
1100 |
560 |
850 |
1100 |
|
|
Степень сжатия |
N2 |
108 |
107 |
108 |
107 |
108 |
|
|
Ar |
108 |
107 |
108 |
107 |
108 |
||
|
He |
104 |
||||||
|
H2 |
103 |
||||||
|
Предельное давление для ISO-F исполнения (Па) |
10-7 |
||||||
|
Максимальный постоянный поток на входе (ст.см3/мин) |
1100 |
1300 |
2100 |
1100 |
1300 |
2100 |
|
|
Порт продувки (опционально) |
KF10 |
||||||
|
Поток продувочного газа (ст.см3/мин) |
20 |
50 |
20 |
50 |
|||
|
Максимальное магнитное поле, радиальное/ аксиальное (мТл) |
3/15 |
||||||
|
Скорость вращения ротора (об/мин) |
30 000 |
27 000 |
21 000 |
30 000 |
27 000 |
21 000 |
|
|
Время разгона (мин) |
≤6 |
≤8 |
≤9 |
≤6 |
≤8 |
≤9 |
|
|
Время остановки (мин) |
≤8 |
≤11 |
≤12 |
≤8 |
≤11 |
≤12 |
|
|
Охлаждение |
водяное |
||||||
|
Расход охлаждающей воды (л/мин) |
2 |
3 |
2 |
3 |
2 |
||
|
Температура охлаждающей воды (°C) |
20±5 |
||||||
|
Питание |
220±10%В, 50 Гц, 110±10%В, 60 Гц |
||||||
|
Модель контроллера |
CXFD-1000H |
CXFD-1600H |
CXFD-1000H |
CXFD-1600H |
|||
|
Требуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/c) |
16 |
22 |
30 |
16 |
22 |
30 |
|
|
Вес (кг) |
51(ISO-F) |
60(ISO-F) |
76 |
51(ISO-F) |
60(ISO-F) |
76 |
|