Серия CXF – турбомолекулярные вакуумные насосы с интегрированным контроллером и полностью магнитным подвесом ротора (и верхний, и нижний подшипники – магнитные). Серия включает ряд из трех моделей (1400, 2300 и 3000 л/с) в различных модификациях.
Основные особенности
- активная технология магнитной стабилизации по 5-ти осям, позволяющая производить установку насоса под любым углом
- высокоточные керамические посадочные подшипники с повышенным сроком службы
- композитная конструкция турбины с молекулярной ступенью на основе углеродного волокна
- постоянные магниты для уменьшения энергопотребления
- автоматическое управление работой ротора, балансировкой, защита от сбоя питания и система управления температурой
- несколько интерфейсов контроллера для внешнего управления
- возможно коррозионностойкое исполнение с продувкой и внешним прогревом
- являются хорошей альтернативой насосам Edwards и Pfeiffer
Технические характеристики
|
Модель CXF |
200/1401 |
200/1402 |
250/2301 |
250/2302 |
320/3001 |
320/3002 |
|
Скорость откачки, (л/с) |
||||||
|
N2
|
1 280 |
1 400 |
2 150 |
2 360 |
2 950 |
3 260 |
|
Ar |
1 100 |
1 300 |
1 900 |
2 260 |
2 750 |
2 900 |
|
He |
880 |
1 100 |
1 500 |
1 980 |
2 300 |
2 550 |
|
H2
|
560 |
820 |
850 |
1250 |
1100 |
1730 |
|
Степень сжатия |
||||||
|
N2
|
>108 |
>109 |
||||
|
Ar |
>108 |
>109 |
||||
|
He |
>104 |
>104 |
||||
|
H2
|
>103 |
>103 |
||||
|
Предельное давление: резиновые уплотнения/металл, (Па) |
10-7/10-8 |
10-7/- |
||||
|
Максимальное постоянное давление на выпуске, (Па) |
226 |
|||||
|
Максимальный постоянный поток N2 , (см3/мин) |
1100 |
1200 |
1300 |
1500 |
2100 |
2400 |
|
Входной фланец: стандарт/опция |
DN200 ISO F / DN200 ICF, DN200 LF |
DN250 ISO F /DN250 ICF, DN250 LF |
DN320 ISO F /- |
|||
|
Температура прогрева входного фланца |
<120 oC |
|||||
|
Выходной фланец |
KF40 |
|||||
|
Фланец продувки, опция |
KF10 |
|||||
|
Поток продувочного газа, (см3/мин) |
20 |
50 |
||||
|
Скорость вращения ротора, (об/мин) |
30 000 |
33 000 |
27 000 |
30 000 |
21 000 |
24 000 |
|
Скорость вращения при простое, (об/мин) |
~5 000 |
|||||
|
Время разгона, (мин) |
≤6 |
≤7 |
≤8 |
≤9 |
≤10 |
|
|
Время остановки, (мин) |
≤8 |
≤9 |
≤11 |
≤12 |
≤14 |
|
|
Вибрация, (мкм) |
≤0,01 |
≤0,01 |
≤0,01 |
≤0,01 |
≤0,01 |
≤0,01 |
|
Уровень шума, (дБ) |
<50 |
<50 |
<50 |
<50 |
<50 |
<50 |
|
Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса, (л/с) |
≥16 |
≥16 |
≥22 |
≥22 |
≥30 |
≥30 |
|
Монтажное положение |
Любое |
|||||
|
Охлаждение |
Водяное |
|||||
|
Соединения системы водяного охлаждения |
G1/4，пластиковая трубка 10 мм |
|||||
|
Поток охлаждающей воды, (л/мин) |
2 |
3 |
||||
|
Температура охлаждающей воды, (°С) |
20±5 |
|||||
|
Давление охлаждающей воды, (Па) |
0,15…0,4 |
|||||
|
Температура эксплуатации, (°С) |
5…40 |
|||||
|
Относительная влажность, (%) |
40…80 |
|||||
|
Температура хранения, (°С) |
-25…55 |
|||||
|
Макс. индукция магнитного поля радиальная, (мТл) |
3 |
|||||
|
Макс. индукция магнитного поля осевая, (мТл) |
15 |
|||||
|
Вес для версии с фланцем ISO F, (кг) |
51 |
60 |
76 |
|||
|
Электропитание |
220±10% В, 50 Гц 110±10% В, 60 Гц |
|||||
|
Макс. мощность, (Вт) |
1 000 |
1 500 |
||||