Вакуумные технологии

Вакуумные насосы и датчики давления одного из лучших производителей

Турбомолекулярные насосы

Турбомолекулярные насосы

Компания Edwards Vacuum является одним из лидеров в области чистых и сухих вакуумных технологий и предлагает широкий спектр турбомолекулярных насосов для научно-исследовательских и промышленных применений. В турбомолекулярных насосах Edwards Vacuum используются самые современные технологические решения и прецизионные технологии производства. В турбомолекулярных насосах применяются два основных варианта исполнения подвеса ротора: магнитный подвес и/или керамические шариковые подшипники. Современные технологии в области проектирования роторов позволяют предложить насосы с высокой пропускной способностью при низком предельном остаточном давлении. Для промышленной эксплуатации в агрессивных средах Edwards Vacuum предлагает специальные модификации хим стойких турбомолекулярных насосов. Турбомолекулярные насосы Edwards Vacuum обладают отличными показателями надежности при минимальном обслуживании. Высококачественные турбомолекулярные насосы Edwards Vacuum получили широкое применение в различных отраслях: микроэлектроника и полупроводниковая промышленность; научные приборы, разрабатываемые для исследования электрофизических свойств микроструктур; ускорители элементарных частиц.

Технические характеристики

МОДЕЛЬ

ВХОДНОЙ ФЛАНЕЦ

БЫСТРОТА ОТКАЧКИ (N2), л/с

ПРЕДЕЛЬНОЕ ОСТАТОЧНОЕ 
ДАВЛЕНИЕ, Па (торр)

ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ С НЕОБСЛУЖИВАЕМЫМ НИЖНИМ ПОДШИПНИКОМ И МАГНИТНЫМ ВЕРХНИМ

EXT75Dx

NW40

ISO63-K

ISO100-K

DN63CF

42

61

66

61

5x10-6 (3,7x10-8)

5x10-7 (3,7x10-9)

EXT556H

ISO160-K

DN160CF

540

540

2x10-7 (1,5x10-9)

1x10-8 (7,5x10-11)

ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ С ОБСЛУЖИВАЕМЫМ НИЖНИМ ПОДШИПНИКОМ И МАГНИТНЫМ ВЕРХНИМ

nEXT85

NW40

ISO63-K

ISO100-K

DN63CF

47

84

86

84

5x10-7(3,7x10-9)

5x10-8(3,7x10-10)

nEXT240

ISO100-K

DN100CF

240

240

6x10-6 (4,5x10-8)

5x10-8 (3,7x10-10)

nEXT300

ISO100-K

DN100CF

300

300

6x10-6 (4,5x10-8)

5x10-8 (3,7x10-10)

nEXT400

ISO160-K

DN160CF

400

400

1x10-6 (7,5x10-9)

1x10-8 (7,5x10-10)

ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ НА МАГНИТНОМ ПОДВЕСЕ С ИНТЕГРИРОВАННЫМ КОНТРОЛЛЕРОМ

STP-iX 455

ISO100-K

DN100CF

ISO160-K

DN160CF

300

300

480

480

6,5x10-6 (5x10-8)

1x10-8 (7,5x10-11)

6,5x10-6 (5x10-8)

1x10-8 (7,5x10-11)

STP-iXR 1606

ISO160-F

VG150

ISO200-F

ISO250-F

VG200

900

900

1600

1600

1600

1x10-7 (7,5x10-10)

STP-iXR2206

ISO250-F

DN250CF

VG250

2200

10-7 (10-9)

STP-iXA 2206C

ISO250-F

DN250CF

2200

1x10-7 (7,5x10-10)

STP-iS2207C

ISO200-F

DN200CF

ISO250-F

DN250CF

1850

1850

2200

2200

1x10-6 (1x10-8)

STP-iXA 3306C

ISO250-F

DN250CF

ISO320-F

DN320CF

2650

2650

3200

3200

1x10-7 (7,5x10-10)

STP-iXA 4506C

VG300

ISO320-F

VG350

VG400

3800

4000

4300

4300

1x10-7 (7,5x10-10)

ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ НА МАГНИТНОМ ПОДВЕСЕ С ВЫНОСНЫМ КОНТРОЛЛЕРОМ

STP 301 / STP 301C

ISO100-K

DN100CF

300

300

6,5x10-6 (5x10-8)

1x10-8 (7,5x10-11)

STPH301C

ISO100-K

DN100CF

300

10-7*(10-9*)

STP 451 / STP 451C

ISO160-F

DN160CF

480

480

6,5x10-6 (5x10-8)

1x10-8 (7,5x10-11)

STP 603 / STP 603C

ISO160-F

DN160CF

650

1x10-7 (7,5x10-10)

1x10-8 (7,5x10-11)

STPA 803C

ISO160-F

DN160CF

800

1x10-7 (7,5x10-10)

STP 1003 / STP 1003C

ISO200-F

DN200CF

1000

1000

1x10-7 (7,5x10-10)

1x10-8 (7,5x10-11)

STPA1303C

ISO200-F

DN200CF

1300

1x10-7 (7,5x10-10)

STPA 1603C

ISO200-F

DN200CF

1600

1x10-7 (7,5x10-10)

STPA 2203C

ISO250-F

DN250CF

2200

1x10-6 (7,5x10-9)

STP-XA 2703C

ISO250-F

DN250CF

2650

1x10-7 (7,5x10-10)

STP-XA 3203C

ISO320-F

DN320CF

3200

1x10-7 (7,5x10-10)

STP-XA 4503C

ISO320-F

DN400CF

4000

4300

1x10-7 (7,5x10-10)

Top