Компания Edwards является одним из лидеров в области чистых и сухих вакуумных технологий и предлагает широкий спектр турбомолекулярных насосов для научно-исследовательских и промышленных применений.
Насос серии nEXT это гибридный вакуумный турбомолекулярный насос при проектировании которого использованы самые современные конструкторские решения и прецизионные технологии производства.
Серия nEXT включает насосы различных типоразмеров и несколькими вариантами исполнения входного фланца.
Модели nEXT 240, 300, 400 Дуплекс “D” содержат турбомолекулярные лопатки и механизм скольжения Зигбана
для работы при повышенных давлениях выпуска.
Модели Триплекс “T” содержат турбомолекулярные лопатки,
механизм скольжения Зигбана и ступень регенерации для работы в бустерном (дожимном) режиме.
Модель nEXT85 предлагается в вариантах “D” и “H”. Вариант “D” обладает высокой скоростью откачки по
по всему спектру газов. Вариант “H” предназначен для применений требующих высокой скорости откачки
и степени сжатия по легким газам.
Весной 2020 года компания Edwards дополнила линейку новыми моделями насосов высокой производительности nEXT730 и nEXT930.
Высококачественные турбомолекулярные насосы Edwards серии nEXT получили широкое применение в различных отраслях:
- научные приборы, разрабатываемые для исследования электрофизических свойств микроструктур
- ускорители элементарных частиц
- установки вакуумного осаждения
- течеискатели и другие аналитические приборы
Технические характеристики
|
|
|
nEXT85 |
nEXT240 |
nEXT300 |
nEXT400 |
||
|
Входной фланец |
|
NW40 |
DN63 ISO-K или DN63 CF |
DN100 ISO-K |
DN100 ISO-K или DN100 CF |
DN100 ISO-K или DN100 CF |
DN160 ISO-K или DN160 CF |
|
Скорость откачки на входе л/c |
N2 |
47 |
84 |
86 |
240 |
300 |
400 |
|
Ar |
44 |
80 |
84 |
230 |
280 |
380 |
|
|
He |
61 |
78 |
80/78 (D/H) |
230 |
340 |
390 |
|
|
H2 |
49/44 (D/H) |
60/54 (D/H) |
60/54 (D/H) |
165 |
280 |
325 |
|
|
Степень сжатия (серия D) |
N2/Ar |
>1x1011 |
>1x1011 |
>1x1011 |
>1x1011 |
>1x1011 |
>1x1011 |
|
He |
8x106 |
3x105 |
1x106 |
1x108 |
|||
|
H2 |
2x105 |
1x104 |
5x104 |
5x105 |
|||
|
Степень сжатия (серии T/H) |
N2/Ar |
>1x1011 |
>1x1011 |
>1x1011 |
>1x1011 |
>1x1011 |
>1x1011 |
|
He |
2x107 |
2x107 |
2x107 |
1x106 |
3x106 |
>1x108 |
|
|
H2 |
5x105 |
5x105 |
5x105 |
1.5x104 |
1x105 |
1x106 |
|
|
Фланец выходного/промежуточного портов |
|
NW16 |
NW25 |
NW25 |
NW25 |
||
|
Фланец порта напуска/продувки |
|
1/8” BSPP |
1/8” BSPP |
1/8” BSPP |
1/8” BSPP |
1/8” BSPP |
1/8” BSPP |
|
Максимальное давление на выходе (серии D/H) |
мбар |
18 |
9.5 |
9.5 |
10 |
||
|
Максимальное давление на выходе (серия T) |
мбар |
нет |
20 |
20 |
20 |
||
|
Максимальная температура отжига при (жидкостном/воздушном охлаждении) |
°C |
120/115° |
120/115° |
120/115° |
120/115° |
120/115° |
120/115° |
|
Рекомендуемый форвакуумный насос |
|
nXDS15 |
nXDS15 |
nXDS15 |
RV12/nXDS10i |
RV12/nXDS10i |
RV12/nXDS10i |
|
Номинальная скорость вращения (об/мин) |
|
90 000 |
90 000 |
90 000 |
60 000 |
60 000 |
60 000 |
|
Время разгона до 90% номинала (сек) серии D/H (T) |
|
90 |
90 |
90 |
115 (150) |
145 (190) |
180 (210) |
|
Вес (кг) серии D/H (T) |
ISO |
2.9 |
3.0 |
3.2 |
5.7 (6) |
5.7 (6) |
6.5 (6.8) |
|
CF |
|
4.4 |
|
8.8 (9.1) |
8.5 (8.8) |
9.5 (9.8) |
|