Турбомолекулярные насосы
Компания Edwards является одним из лидеров в области чистых и сухих вакуумных технологий и предлагает широкий спектр турбомолекулярных насосов для научно-исследовательских и промышленных применений.
Насосы Edwards STP - вакуумные безмасляные турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора для сухой высоковакуумной откачки.
В турбомолекулярных насосах Edwards используются самые современные технологические решения и прецизионные технологии производства. Современные технологии в области проектирования роторов позволяют предложить насосы с высокой пропускной способностью и с низким предельным остаточным давлением. Турбомолекулярные насосы Edwards обладают отличными показателями надежности при минимальном обслуживании.
Турбомолекулярные насосы STP имеют специализированные модификации, обозначаемые дополнительной аббревиатурой серии:
Модель насоса (выносного контроллера) |
Скорость откачки |
Входной фланец |
Предельное остаточное давление |
Максимально допустимое давление на входе |
Максимально допустимое давление на выходе |
STP301 (SCU-350) |
300/300 |
ISO100F/ISO100/VG100 |
6.5×10-6 (5×10-8) |
6.7х10-2 (5×10-4) |
13 (0.1) |
300/300 |
ICF152 (DN100CF) |
10-8* (10-10*) |
6.7х10-2 (5×10-4) |
13 (0.1) |
|
STP301C (SCU-350) |
300/300 |
ISO100F/ISO100/VG100 |
6.5×10-6 (5×10-8) |
6.7х10-2 (5×10-4) |
13 (0.1) |
300/300 |
ICF152 (DN100CF) |
10-7* (10-9*) |
6.7х10-2 (5×10-4) |
13 (0.1) |
|
STPH301C (SCU-800) |
300/200 |
ISO100F/ISO100/VG100/ICF152(DN100CF) |
10-7* (10-9*) |
266 (2) |
665 (5) |
STP-L301C (SCU-350) |
260/290 |
ISO100K |
6.5х10-6 (5×10-8) |
6.7×10-2 (5×10-4) |
13 (0.1) |
260/290 |
ICF152 (DN100CF) |
10-8* (10-10*) |
6.7×10-2 (5×10-4) |
13 (0.1) |
|
STP451 (SCU-350) |
480/460 |
ISO160F/ISO160/VG150 |
6.5х10-6 (5×10-8) |
6.7×10-2 (5×10-4) |
13 (0.1) |
480/460 |
ICF203 (DN160CF) |
10-8 (10-10*) |
6.7×10-2 (5×10-4) |
13 (0.1) |
|
STP451C (SCU-350) |
480/460 |
ISO160F/ISO160/VG150 |
6.5х10-6 (5×10-8) |
6.7×10-2 (5×10-4) |
13 (0.1) |
480/460 |
ICF203 (DN160CF) |
10-7* (10-9*) |
6.7×10-2 (5×10-4) |
13 (0.1) |
|
STPH451C (SCU-800) |
450/300 |
ISO160F/ISO160/VG150/ICF203(DN160CF) |
10-7* (10-9*) |
266 (2) |
665 (5) |
STP-iX455 (блок питания IPS-240) |
300/300 |
IS0100/VG100 |
6.5х10-6 (5×10-8) |
1.3х10-1 (9.7х10-4) |
67 (0.5) |
300/300 |
ICF152 (DN100CF) |
10-8* (10-10*) |
1.3х10-1 (9.7х10-4) |
67 (0.5) |
|
450/460 |
IS0160/VG150 |
6.5х10-6 (5×10-8) |
1.3х10-1 (9.7х10-4) |
67 (0.5) |
|
450/460 |
ICF203 (DN160CF) |
10-8* (10-10*) |
1.3х10-1 (9.7х10-4) |
67 (0.5) |
|
STP-iX457 (блок питания с дисплеем iPD-240-24В) |
300/300 |
VG100/ISO100/ISO100F |
6.5×10-6 (5×10-8) |
3.2×10-1 (2.4×10-3) |
133 (1) |
300/300 |
ICF152(DN100CF) |
10-8(10-10) |
3.2×10-1 (2.4×10-3) |
133 (1) |
|
450/460 |
VG150/ISO160/ISO160F |
6.5×10-6 (5×10-8) |
3.2×10-1 (2.4×10-3) |
133 (1) |
|
450/460 |
ICF203(DN160CF) |
10-8(10-10) |
3.2×10-1 (2.4×10-3) |
133 (1) |
|
STP603 (SCU-800) |
650/550 |
ISO160F/ISO160/VG150 |
10-7 (10-9) |
1.3х10-2 (1х10-4) |
13 (0.1) |
650/550 |
ICF203 (DN160CF) |
10-8* (10-10*) |
1.3х10-2 (1х10-4) |
13 (0.1) |
|
STP603C (SCU-800) |
650/550 |
ISOF160/VG150 |
6.5х10-6 (5×10-8) |
1.3х10-2 (1х10-4) |
13 (0.1) |
650/550 |
ICF203 (DN160CF) |
10-7* (10-9*) |
1.3х10-2 (1х10-4) |
13 (0.1) |
|
STPA803C (SCU-800) |
800/520 |
ISO160F/ISO160/VG150 |
10-7* (10-9*) |
13.3 (0.1) |
270 (2) |
800/520 |
ICF203 (DN160CF) |
10-7* (10-9*) |
13.3 (0.1) |
270 (2) |
|
STP1003 (SCU-800) |
1000/800 |
ISO200F/ISO250F/VG200 |
10-7* (10-9*) |
1.3х10-2 (1х10-4) |
13 (0.1) |
1000/800 |
ICF253(DN200CF) |
10-8* (10-10*) |
1.3х10-2 (1х10-4) |
13 (0.1) |
|
STP1003C (SCU-800) |
1000/800 |
ISO200F/ISO250F/VG200 |
6.5х10-6 (5×10-8) |
1.3х10-2 (1х10-4) |
13 (0.1) |
1000/800 |
ICF253 (DN200CF) |
10-7* (10-9*) |
1.3х10-2 (1х10-4) |
13 (0.1) |
|
STPA1303C (SCU-800) |
1300/800 |
ISO200F/ISO200/ISO250/VG200/ICF253 (DN200CF) |
10-7* (10-9*) |
1.3х10-2 (1х10-4) |
266 (2) |
STPA1603C (SCU-800) |
1600/1200 |
ISO200F/VG200/ICF253(DN200CF) |
10-7* (10-9*) |
1.3х10-2 (1х10-4) |
266 (2) |
STPA2203C (SCU-1600) |
2200/1700 |
ISO250F/VG250/ICF305 (DN250CF) |
10-7* (10-9*) |
2.7 (0.02) |
400 (3) |
STP-iXR2206 |
2200/1350 |
ISO250F/VG250/ICF305 (DN250CF) |
10-7* (10-9*) |
1.3х10-1 (1х10-3) |
266 (2) |
STP-iXA2206C |
2200/1900 |
ISO250F/VG250/ICF305 (DN250CF) |
10-7* (10-9*) |
1.3х10-1 (1х10-3) |
266 (2) |
STP-iS2207C |
2200/750 |
ISO250F/VG250/ICF305 (DN250CF) |
1x10-6* (1x10-8*) |
- |
200 (1.5) |
STP-XA2703C (SCU-1600) |
2650/2050 |
ISO250F/VG250/ICF305 (DN250CF) |
10-7* (10-9*) |
- |
266 (2) |
STP-iX3006 |
2300/2600 |
ISO250F/VG250/ICF305 (СF250) |
10-7* (10-9*) |
- |
133 (1) |
2700/2700 |
VG300/VG350/ISO320F/VF350/ICF356 (CF320) |
10-7* (10-9*) |
- |
133 (1) |
|
STP-XA3203C |
3200/2300 |
ISO320F/VG300 |
10-7* (10-9*) |
- |
266 (2) |
STP-iXA3306 |
2650/2050 |
IS0250F/VG250/ICF305 (DN250CF) |
10-7* (10-9*) |
- |
266 (2) |
3200/2300 |
IS0320F/VG300/ICF356 (DN320CF) |
10-7* (10-9*) |
- |
266 (2) |
|
STP-XA4503C |
3800/2500 |
VG300 |
10-7* (10-9*) |
- |
266 (2) |
4000/2500 |
ISO320F |
10-7* (10-9*) |
- |
266 (2) |
|
4300/2500 |
VG350/ICF458 (DN400CF) |
10-7* (10-9*) |
- |
266 (2) |
|
STP-iXA4506 |
3800/2700 |
VG300 |
10-7 (10-9) |
- |
266 (2) |
4000/2700 |
ISO320F |
10-7 (10-9) |
- |
266 (2) |
|
4300/2700 |
VG350 |
10-7 (10-9) |
- |
266 (2) |
|
4300/2700 |
VG400 |
10-7 (10-9) |
- |
266 (2) |
* После прогрева. Насосы с фланцевыми соединениями стандарта CF производятся под заказ.
Пример расшифровки модели насоса STP-iXA-3306CV
STP-iXA3306CV - турбомолекулярный насос с интегрированным контроллером и улучшенной пропускной способностью, производительностью по азоту 3300 л/с (этот пример 330(6) означает, что скорость откачки насоса составляет около 3300 л/с), модель 6-го поколения (на сегодняшний день это самое последнее поколение моделей насосов), химически стойкая версия "С" (достигается специальным внутренним многослойным покрытием элементов насоса, наличием продувочного порта и специальной геометрией насоса, обеспечивающей хорошую продувку насоса во всех внутренних полостях), с системой прогрева и стабилизации температуры “V” (опция, доступная для заказа к "C" (химически стойкой) версии насосов STP, сокращенно именуемая TMS (Thermal Management System) – система прогрева и стабилизации температуры, устанавливается в насос при его производстве и не может быть доустановлена в дальнейшем).