Турбомолекулярные насосы
XDS – серия сухих вакуумных насосов, показавшая на практике высокую надежность и возможность обеспечения безмасляной откачки в различных областях применения. Серия включает в себя насосы моделей XDS35i и XDS46i, а также версию XDS35i Enhanced в которой используется запатентованная компанией Edwards конструкция с двухзаходной спиралью и перепускными клапанами.
Насосы модели XDS35i и XDS35i Enhanced предлагаются в комплектациях с газобалластом и без газового балласта. Версия без газобалласта подходит для процессов, где требуется рециркуляция и рекуперация газов. Также выпускаются насосы версии «С», которые подходят для использования при откачке агрессивных сред. Внутренние клапаны насосов этой версии производятся из Chemraz®, а фитинги из нержавеющей стали.
Насос XDS46i обладает максимальной скоростью откачки из всей линейки – 40 м3/час. Его конструкция позволяет обеспечить максимальную скорость откачки при давлении на входе 1-10 мбар. Эта особенность делает его идеальным решением для обеспечения форвакуума для турбомолекулярных насосов.
Серия nXDS – это новое поколение сухих спиральных насосов. По сравнению с предыдущим поколением, насосами XDS, данные насосы обладают большей скоростью откачки, а их предельное остаточное давление, энергопотребление и уровень шума ниже.
Серия nXDS включает в себя насосы четыре модели: nXDS6i, nXDS10i, nXDS15i, nXDS20i. Исполнение каждой модели доступно в трех версиях: стандартная, версия «С», версия «R».
Версия «С» применяется там, где производится откачка агрессивных сред. Элементы насосов этой серии изготавливаются из материалов имеющих повышенную стойкость к воздействию. Насосы версии «R» предназначены для применения в тех областях, где происходит откачка и регенерация редких газов, а также рециркуляция газов.
Все насосы XDS и nXDS оснащены запатентованной технологией сильфонного ввода движения, что гарантирует отсутствие загрязнений в откачиваемом объеме.
|
|
nXDS6i |
nXDS10i |
nXDS15i |
nXDS20i |
XDS35i |
XDS46i |
|||
Номинальная скорость вращения |
об/мин |
1800 |
1750 |
|||||||
Производительность |
м3/час (л/с) |
6.8 (1.9) |
12.7 (3.5) |
17.1 (4.8) |
28 (7.8) |
43 (12.0) |
60 (16.7) |
|||
Максимальная быстрота откачки |
м3/час (л/с) |
6.2 (1.7) |
11.4 (3.2) |
15.1 (4.2) |
22.0 (6.1) |
35 (9.7) |
40 (11.1) |
|||
Предельное остаточное давление |
мбар (торр) |
0.020 (0.015) |
0.007 (0.005) |
0.007 (0.005) |
0.030 (0.022) |
0.01 (0.008) |
0.05 (0.04) |
|||
Минимальная скорость вращения в режиме ожидания |
об/мин |
1200 |
- |
- |
||||||
Разрешение контроля скорости (процент от полной скорости вращения) |
% |
1 |
- |
- |
||||||
Максимальное давление паров воды на входе |
мбар |
35 |
35 |
35 |
20 |
35 |
40 |
|||
Максимальная скорость откачки паров воды |
г/час |
110 |
145 |
240 |
220 |
240 |
240 |
|||
Максимальное продолжительное давление на входе |
мбар |
200 |
200 |
200 |
50 |
40 |
40 |
|||
Напряжение питания |
В |
100-127, 200-240 (+/- 10%) |
100-120, 200-240 (+/- 10%) |
|||||||
Частота |
Гц |
50/60 |
||||||||
Мощность двигателя 1-ф |
Вт |
260 |
280 |
300 |
260 |
520 |
520 |
|||
Разъем 1-ф |
|
IEC EN60320 C13 |
IEC EN60320 C19 |
|||||||
Рекомендуемый предохранитель |
|
10A, 250В |
230В – 16A, 115В – 20A |
|||||||
Вес |
кг |
26.2 |
25.8 |
25.2 |
25.6 |
48 |
48 |
|||
Входной фланец |
|
NW25 |
NW40 |
|||||||
Выхлопной фланец |
|
NW25 |
NW25 |
|||||||
Уровень шума |
дБ |
52 |
57 |
55.4 |
||||||
Вибрация на входном фланце (среднеквадратичное) |
мм/с |
<4.5 |
||||||||
Герметичность |
мбар л/с |
<1x10-6 |
||||||||
Диапазон рабочих температур |
оС |
от +5 до +40 |