Надежные средства откачки для производства микроэлектроники
Edwards IDX - линейка промышленных сухих винтовых насосов с двойной винтовой системой. Данные насосы обеспечивают высокую производительность и быструю откачку от атмосферного давления в промышленных вакуумных системах технологических процессов дегазации, металлургии, нанесениях различных покрытий. Надёжность и простота двойной винтовой системы, более высокая скорость откачки при достижении низкого вакуума - отличительные особенности насосов серии Edwards IDX. Дизайн конструкции насосов обеспечивают стабильную работу вакуумных систем, высокую повторяемость параметров процесса и сокращение эксплуатационных расходов оборудования.
Сферы применения насосов серии Edwards IDX:
Вакуумная металлургия;
Сушка узлов и компонентов;
Откачка вакуумных камер имитации космоса;
Дегазация стали;
Нанесение покрытий.
Параметр |
Модель насоса |
||
IDX 1000 | IDX 1300 | ||
Cкорость откачки м³/ч (фт³/ч) | номинальная | 1000 (589) | 1300 (766) |
фактическая | 900 (560) | 1250 (736) | |
Предельное давление, мбар (Торр) | 5 x 10-2 (3,75 x 10-2) | < 5 x 10-2 (3,75 x 10-2) | |
Мощность, кВт | 30 (опционально - 22) | 30 | |
Уровень шума, дБ(А) |
82 |
||
Масса, кг | 50 Гц | 1560 | 1590 |
60 Гц | 1630 | 1660 |