Турбомолекулярные насосы
Edwards EXS - серия новых промышленных сухих винтовых насосов, разработанных с учётом многолетнего опыта эксплуатации платформы GXS. В винтовом механизме применён улучшенный профиль, позволяющий уменьшить число заходов механизма при сохранении производительности откачки. Новая газобалластная система включает в себя регулятор давления, а также предусматривает простую ручную регулировку потока в пределах 1-130 л/мин. Продувочный клапан улучшает характеристики откачки при больших потоках и больших давлениях на входе насоса, позволяя откачиваемому газу двигаться в обход последних ступеней винтового механизма. Разработана новая, простая в эксплуатации система водяного и воздушного охлаждения.
Особенности и преимущества насосов серии Edwards EXS:
Повышенная производительность откачки.
Низкое предельное давление ( <1x10-2 mbar)
Надёжная работа в тяжёлых промышленных условиях, меньшие интервалы между техническим обслуживанием.
Плавная и бесшумная работа с пониженным потреблением энергии
Новая надёжная газовая система с ручным регулированием газобалласта
Технология Advanced Core (долговечные уплотнения со встроенным лабиринтом для блокировки смазочных материалов, гарантирующие отсутствие масла в вакуумной системе; некантилеверная конструкция обеспечивает надёжную опору ротора, чрезвычайно низкую вибрацию и превосходную надёжность пуска, особенно в тяжёлых промышленных условиях)
Сферы применения насосов серии Edwards EXS:
Металлургия (Вакуумная пайка, электронно-лучевая сварка, нитроцементация, спекание);
Плазменные процессы (Плазменная сварка, азотирование);
Откачка вакуумных камер (Камеры имитации космоса, загрузочные камеры);
Солнечная энергия (Выращивание кремниевых кристаллов, производство солнечных батарей);
Производство LED-элементов;
Нанесение покрытий (CVD, DLC, активация поверхности, напыление стекла).
Параметры | Edwards EXS 750 | |
Общие | Предельное остаточное давление, mbar (Torr) | <1,2x10-2 (<8x10-3) |
Максимальная скорость откачки, m3/h (ft3/h) | 740 (435) | |
Мощность при предельном давлении, kW | 8 | |
Мощность при пиковой нагрузке, kW | 22 | |
Максимальная скорость вращения ротора, rpm | 7500 | |
Входной/выходной фланец | ISO100 / NW50 | |
Габаритные размеры Д х Ш х В, мм | 1650 х 613 х 642 | |
Охлаждение | Cоединение | резьбовое G1/2’’ female |
Поток охлаждающей воды, l/min | 12 | |
Максимальное давление воды, bar (psig) | 7 | |
Температура, °С | 5 - 40 | |
Продувка | Cоединение | резьбовое G1/2’’ female |
Давление, bar | 3 - 6,9 | |
Поток на уплотненине вала (постоянн.), l/min | 12 | |
Поток газобалласта, l/min | 1 - 130 | |
Рабочие характеристики | Рабочая температура, °С | 5 - 40 |
Уровень шума с глушителем, dB (A) | <70 | |
Максимальное выпускное давление, bar | 1,2 |