Турбомолекулярные насосы

Сухие винтовые насосы серии EXS

Edwards EXS - серия новых промышленных сухих винтовых насосов, разработанных с учётом многолетнего опыта эксплуатации платформы GXS. В винтовом механизме применён улучшенный профиль, позволяющий уменьшить число заходов механизма при сохранении производительности откачки. Новая газобалластная система включает в себя регулятор давления, а также предусматривает простую ручную регулировку потока в пределах 1-130 л/мин. Продувочный клапан улучшает характеристики откачки при больших потоках и больших давлениях на входе насоса, позволяя откачиваемому газу двигаться в обход последних ступеней винтового механизма. Разработана новая, простая в эксплуатации система водяного и воздушного охлаждения.

Особенности и преимущества насосов серии Edwards EXS:

  • Повышенная производительность откачки.

  • Низкое предельное давление ( <1x10-2 mbar)

  • Надёжная работа в тяжёлых промышленных условиях, меньшие интервалы между техническим обслуживанием.

  • Плавная и бесшумная работа с пониженным потреблением энергии

  • Новая надёжная газовая система с ручным регулированием газобалласта

  • Технология Advanced Core (долговечные уплотнения со встроенным лабиринтом для блокировки смазочных материалов, гарантирующие отсутствие масла в вакуумной системе; некантилеверная конструкция обеспечивает надёжную опору ротора, чрезвычайно низкую вибрацию и превосходную надёжность пуска, особенно в тяжёлых промышленных условиях)

Сферы применения насосов серии Edwards EXS:

  • Металлургия (Вакуумная пайка, электронно-лучевая сварка, нитроцементация, спекание);

  • Плазменные процессы (Плазменная сварка, азотирование);

  • Откачка вакуумных камер (Камеры имитации космоса, загрузочные камеры);

  • Солнечная энергия (Выращивание кремниевых кристаллов, производство солнечных батарей);

  • Производство LED-элементов;

  • Нанесение покрытий (CVD, DLC, активация поверхности, напыление стекла).

Технические характеристики

Параметры Edwards EXS 750
Общие Предельное остаточное давление, mbar (Torr) <1,2x10-2 (<8x10-3)
Максимальная скорость откачки, m3/h (ft3/h) 740 (435)
Мощность при предельном давлении, kW 8
Мощность при пиковой нагрузке, kW 22
Максимальная скорость вращения ротора, rpm 7500
Входной/выходной фланец ISO100 / NW50
Габаритные размеры Д х Ш х В, мм 1650 х 613 х 642
Охлаждение Cоединение резьбовое G1/2’’ female
Поток охлаждающей воды, l/min 12
Максимальное давление воды, bar (psig) 7
Температура, °С 5 - 40
Продувка Cоединение резьбовое G1/2’’ female
Давление, bar 3 - 6,9
Поток на уплотненине вала (постоянн.), l/min 12
Поток газобалласта, l/min 1 - 130
Рабочие характеристики Рабочая температура, °С 5 - 40
Уровень шума с глушителем, dB (A) <70
Максимальное выпускное давление, bar 1,2

Скачать

Top