Криогенные насосы обеспечивают «чистый», безмасляный вакуум и высокое быстродействие.
Криогенные вакуумные насосы широко используются в различных областях промышленности, в том числе полупроводниковой и электронной, в установках нанесения вакуумных покрытий, в производстве тонких пленок, металлургии чистых металлов, в установках термоядерного синтеза, в лабораторных установках и других высокотехнологичных отраслях.
Стандартная серия криогенных насосов BWOKAI DZB включает широкий ряд типоразмеров насосов и компрессоров, который позволяет подобрать необходимую конфигурацию для большинства применений.
Технические характеристики
|
Модель |
DZB200 |
DZB250 |
DZB300 |
DZB400 |
DZB500 |
DZB550 |
DZB630 |
DZB720 |
|
|
Скорость откачки (л/с) |
N2 |
1 700 |
2 500 |
4 000 |
5 500 |
10 000 |
15 000 |
19 000 |
25 000 |
|
H2 |
2 700 |
3 600 |
5 000 |
10 000 |
18 000 |
25 000 |
30 000 |
39 000 |
|
|
Ar |
1 400 |
2 000 |
3 500 |
4 200 |
8 400 |
14 000 |
16 000 |
21 000 |
|
|
H2O |
4 000 |
6 900 |
9 500 |
16 000 |
29 000 |
39 000 |
43 000 |
57 000 |
|
|
Предельное давление (Пa) |
10-7 |
||||||||
|
Макc. производительность (Пa∙л/с) |
N2 |
1.2x103 |
1.2x103 |
2x103 |
1.4x103 |
1.1x103 |
4.1x103 |
2.6x105 |
2.6x105 |
|
H2 |
2.4x102 |
1.5x102 |
4.1x102 |
4.1x102 |
5.0x102 |
1.3x102 |
8.5x102 |
8.5x102 |
|
|
Ёмкость (Пa∙л) |
Ar |
1.0x108 |
1.0x108 |
2.1x108 |
4.3x108 |
5.8x108 |
8.1x108 |
7.8x108 |
7.8x108 |
|
H2O |
1.0x105 |
6.7x105 |
1.0x105 |
2.4x105 |
4.6x105 |
8.5x105 |
1.2x105 |
1.2x105 |
|
|
Время охлаждения (мин) |
≤90 |
≤75 |
≤90 |
≤120 |
≤150 |
≤180 |
≤150 |
≤180 |
|
|
Установочный фланец |
GB, ANSI, ISO, UVG |
GB, ISO |
UVG |
||||||
|
Вес (кг) |
33 |
37 |
48 |
54 |
74 |
130 |
147 |
173 |
|
|
Модель компрессора |
HC50W |
HC80W |
HC80W |
HC80W |
HC100W |
HC100W |
HC80Wx2 |
HC80Wx2 |
|