Криогенные насосы обеспечивают «чистый», безмасляный вакуум и высокое быстродействие.
Криогенные вакуумные насосы широко используются в различных областях промышленности, в том числе полупроводниковой и электронной, в установках нанесения вакуумных покрытий, в производстве тонких пленок, металлургии чистых металлов, в установках термоядерного синтеза, в лабораторных установках и других высокотехнологичных отраслях.
Стандартная серия криогенных насосов BWOKAI DZB включает широкий ряд типоразмеров насосов и компрессоров, который позволяет подобрать необходимую конфигурацию для большинства применений.
Технические характеристики
| Модель | DZB200 | DZB250 | DZB300 | DZB400 | DZB500 | DZB550 | |
| Скорость откачки (л/с) | N2` | 1 700 | 2 500 | 4 000 | 5 500 | 10 000 | 15 000 |
| H2 | 2 700 | 3 600 | 5 000 | 10 000 | 18 000 | 25 000 | |
| Ar | 1 400 | 2 000 | 3 500 | 4 200 | 8 400 | 14 000 | |
| H2O | 4 000 | 6 900 | 9 500 | 16 000 | 29 000 | 39 000 | |
| Предельное давление (Па) | 10-7 | ||||||
| Максимальная производительность (Па·л/с) | Ar | 1,2·103 | 1,2·103 | 2,0·103 | 1,4·103 | 1,1·103 | 4,1·103 |
| Емкость (Па·л) | Ar | 1,0·108 | 1,0·108 | 2,1·108 | 4,3·108 | 5,8·108 | 8,1·108 |
| H2 | 1,0·105 | 6,7·105 | 1,0·106 | 2,4·106 | 4,6·106 | 8,5·106 | |
| Время охлаждения (мин) | 90 | 75 | 90 | 120 | 150 | 180 | |
| Монтажный фланец | GB, ANSI, ISO, UVG | ||||||
| Вес (кг) | 33 | 37 | 48 | 75 | 86 | 98 | |
| Компрессор | HC50W | HC80W | HC100W | ||||