Надежные средства откачки для производства микроэлектроники

Специальные изделия HSR AG

Компанией HSR AG разработаны и предлагаются:
  • серия HVT специальных высоковакуумных угловых клапанов с регулируемой проводимостью и сильфонным уплотнением штока. Типоразмеры от Ду320 (11 000 л/c) до Ду1000 (78 000 л/c)

  • серия диффузионных насосов DIF ECO c Ду от 40 до 1000. Насосы отличаются пониженным потреблением электроэнергии, высокой стабильностью при высоких давлениях и низким предельным давлением

  • титановые сублимационные насосы с предельным давлением меньше 10-12 мм рт.ст.

  • специальные криостаты и контроллеры, в том числе для медицинских исследований

  • серия прямых ловушек BFC с проходным диаметром от 160 до 1000 мм. Ловушки могут охлаждаться водой, холодильными машинами или жидким азотом. В ловушках предусмотрено несколько контуров для одновременного использования разного типа охлаждения. В комплекте с ловушками может поставляться оборудование для автоматической подачи жидкого азота

  • серия угловых ловушек HSB с проходным диаметром от 100 до 320 мм для защиты турбомолекулярных насосов от продуктов обезгаживания. Ловушки снабжены специальным фланцем, позволяющим их периодически очищать, не разбирая вакуумный трубопровод
Top