Высококачественные системы для ионного травления и осаждения, лазерного отжига, молекулярно-лучевой эпитаксии и атомно-слоевого осаждения.

PVD

Veeco Nexus PVDi - гибкие системы для физического осаждения из газовой фазы с широким спектром применения. Оснащена одной мишенью.

Неоспоримые преимущества платформы Veeco Nexus PVDi:

  • Непревзойдённая надёжность оборудования и однородность получаемых плёнок позволяют повысить производительность.

  • Увеличенная пропускная способность и время единого безотказного цикла работы понижают стоимость владения оборудованием.

  • Платформа Nexus PVDi интегрируется с широким спектром технологий Veeco, таких как ионно-лучевое осаждение и травление, атомно-слоевое осаждение.

Top