Турбомолекулярные насосы
Veeco Nexus PVDi - гибкие системы для физического осаждения из газовой фазы с широким спектром применения. Оснащена одной мишенью.
Неоспоримые преимущества платформы Veeco Nexus PVDi:
Непревзойдённая надёжность оборудования и однородность получаемых плёнок позволяют повысить производительность.
Увеличенная пропускная способность и время единого безотказного цикла работы понижают стоимость владения оборудованием.
Платформа Nexus PVDi интегрируется с широким спектром технологий Veeco, таких как ионно-лучевое осаждение и травление, атомно-слоевое осаждение.