Высококачественные системы для ионного травления и осаждения, лазерного отжига, молекулярно-лучевой эпитаксии и атомно-слоевого осаждения.

MOCVD

Вакуумные установки Veeco MOCVD - высокотехнологичные системы для химического осаждения металлоорганических соединений из газовой фазы. Данное оборудование широко применяется в производстве следующих систем: VCSELS (3D-зондирование, LiDAR, высокоскоростная передача данных), лазеры с торцевым излучением (оптическая связь, кремниевая фотоника), мини и микро LED дисплеи (смартфоны, портативные устройства, устройства виртуальной реальности).

Установки Veeco MOCVD представлены в следующих вариантах:

  • Lumina - идеальная повторяемость процесса на подложках размером до 8 дюймов

  • Propel - система для осаждения на подложки диаметром до 300мм, возможность конфигурации тремя кластерными камерами.

  • Propel HVM - установка для осаждения на подложеки диаметром 150 и 200мм. Для максимальной производительности возможна кластерная конфигурация до 6-ти камер.

  • TurboDisk EPIK 868 - высокопроизводительная система, обеспечивающая нанесение однородных покрытий. Запатентованные технологии IsoFlange и TruHeat формируют ламинарный поток и однородный температурный профиль по всей несущей пластине.

Top