Вакуумные системы Veeco AP 200/300 - степперы для проекционной литографии.
Установки линейки Veeco AP функционируют на настраиваемой платформе Unity Platform, обеспечивающей превосходное совмещение, разрешение и характеристики профиля боковой стенки.
Ключевые характеристики систем Veeco AP:
Длина волны воздействия 350-450 нм для работы с широким спектром светочувствительных материалов
Программируемый выбор длины волны (GHI, GH, I) для оптимизации процесса.
Габариты поля 68x26 мм и два поля сканирования уменьшают количество шагов экспонирования на пластину.
Система пошаговой автоматической метрологии (SSM) оптимизирует совмещение.
Возможность обработки деформированных пластин толщиной до 7 мм для Fan-Out технологий.
Универсальная обработка пластин без перенастройки оборудования (8 и 12 дюймов или 6 и 8 дюймов).
Пакет программного обеспечения SECS/GEM поддерживает автоматизацию производства и отслеживание процессов.