Veeco Ion Beam Systems - вакуумные установки для травления и ионно-лучевого осаждения
Системы Veeco IBS представлены в следующих вариантах:
NEXUS IBD - наиболее подходящая установка для устройств MRAM, магнитных головок GMR и TMR, девайсов, оперирующих принципами CIP и CPP-геометрий в своей работе.
NEXUS IBD-LDD - идеальные системы для многослойных плёночных структур: осаждения молибдена (Mo), кремния (Si) и рутения (Ru) на EUV-шаблоны, а также шаблоны иного типа, требующие низкого уровня дефектов и высококачественных тонкопленочных покрытий.
NEXUS DLC-X - установки для нанесения сверхтвёрдых, устойчивых к коррозии DLC-покрытий.
SPECTOR - производительные системы с высокой повторяемостью результата. Гибкость технологического цикла позволяет начать осаждение на подложку в течение 5 минут после загрузки (SPECTOR Loadlock). Контроль толщины плёнки - менее 0,1нм (SPECTOR HT). Диаметр источников напыления - до 160мм (SPECTOR Large Area). Данным установкам присуща повышенная эффективность целевого использования осаждаемых материалов. Конструкция, обеспечивающая меньшее взаимодействие с атмосферой и влагой, позволяет увеличить средние сроки периодичности техобслуживания компонентов.
LANCER - производительные установки для ионно-лучевого травления.
