Высококачественные системы для ионного травления и осаждения, лазерного отжига, молекулярно-лучевой эпитаксии и атомно-слоевого осаждения.

Ion Beam

Veeco Ion Beam Systems - вакуумные установки для травления и ионно-лучевого осаждения

Системы Veeco IBS представлены в следующих вариантах:

  • NEXUS IBD - наиболее подходящая установка для устройств MRAM, магнитных головок GMR и TMR, девайсов, оперирующих принципами CIP и CPP-геометрий в своей работе.

  • NEXUS IBD-LDD - идеальные системы для многослойных плёночных структур: осаждения молибдена (Mo), кремния (Si) и рутения (Ru) на EUV-шаблоны, а также шаблоны иного типа, требующие низкого уровня дефектов и высококачественных тонкопленочных покрытий.

  • NEXUS DLC-X - установки для нанесения сверхтвёрдых, устойчивых к коррозии DLC-покрытий.

  • SPECTOR - производительные системы с высокой повторяемостью результата. Гибкость технологического цикла позволяет начать осаждение на подложку в течение 5 минут после загрузки (SPECTOR Loadlock). Контроль толщины плёнки - менее 0,1нм (SPECTOR HT). Диаметр источников напыления - до 160мм (SPECTOR Large Area). Данным установкам присуща повышенная эффективность целевого использования осаждаемых материалов. Конструкция, обеспечивающая меньшее взаимодействие с атмосферой и влагой, позволяет увеличить средние сроки периодичности техобслуживания компонентов.

  • LANCER - производительные установки для ионно-лучевого травления.

Top