Высококачественные системы для ионного травления и осаждения, лазерного отжига, молекулярно-лучевой эпитаксии и атомно-слоевого осаждения.

Optium (Dicing & Lapping Systems)

В современных фотонных устройствах используется прецизионная оптика, созданная с использованием передовых тонкоплёночных технологий. Системы резки и притирки Veeco Optium обеспечивают требуемые жёсткие допуски и превосходную плоскостность.

  • Optium ADS-800 - установка резки с широким спектром применения. Возможность использования нескольких лезвий и высокопроизводительный шпиндель с воздушным подшипником для плавного и точного движения обеспечивают превосходное и стабильное качество резки. Оптимизированное высокоскоростное позиционирование гарантирует быстрые и эффективные циклы резки. Оптимальное решение сложных технологических задач достигаются за счёт запатентованного инструмента, встроенной регулировки лезвия и активного программного мониторинга. Программное обеспечение Veeco HMI делают процесс резки доступным и простым для пользователя.

  • Optium ASL-200 - высокоточная система притирки головок жёсткого диска. Обеспечивает максимальный контроль критических размеров тонких плёнок и разработана для лёгкой интеграции в автоматизированные back-end процессы. В данной установке присутствуют улучшенный контроль таких функций, как высота датчика и смещение считывающего и записывающего устройств. Система удовлетворяет требованиям притирки головок TMR и PMR. Доступны конфигурации с двумя или четырьмя манипуляторами.

Top