В данном разделе представлены источники осаждения, применяемые для процессов молекулярно-лучевой эпитаксии.
Dopant sources - источники легирующих примесей. Компактность источников гарантирует точный и стабильный контроль потоков легирующих компонентов. Небольшая тепловая масса обеспечивает превосходную чувствительность, воспроизводимость и стабилизацию для усовершенствованных профилей легирования, а также однородность потока по всей подложке. Эффективный нагрев ячеек сводит к минимуму тепловую нагрузку. Адаптирован к задачам создания флюсов легирующих компонентов. Разработан для быстрой стабилизации с минимальным выбросом.
Источники легирующих примесей разработаны для эффективной работы, быстрого теплового отклика и отличной однородности потока. Для достижения хорошей однородности при относительно небольшом заряде, используемом для легирующих материалов, используется конический тигель из PBN с большим углом сужения, чтобы обеспечить отличное распределение потока по всей подложке без затенения или коллимации луча.
Источник работает эффективно при относительно высоких температурах испарения, необходимых для большинства легирующих материалов, без чрезмерной тепловой нагрузки на окружающую камеру роста. Небольшие источники легирующей примесей нагреваются с помощью одной нити накала, более крупные - имеют пару концентрических нитей нагревателя, работающих параллельно, чтобы обеспечить наиболее надёжный и эффективный нагрев источника.
Благодаря небольшим габаритам источников, они могут быть объединены с трубкой для напуска газа на одном монтажном фланце, тем самым расширяя диапазон легирующих примесей, доступных в одном порте источника. Ввод для газа, нагреваемый исходной нитью, предназначен для газов, не требующих предварительного термического крекинга, таких как CBr4. Другие нестандартные конфигурации включают два источника легирующей примеси объемом 5 см3, установленные на фланце диаметром 6 дюймов, или два источника объемом 1,5 см3 , установленные на одном фланце диаметром 4,5 дюйма.
High temperature sources - высокотемпературные источники с диапазоном рабочей температуры до 2000°C. Им присущи эффективная работа при высоких температурах без чрезмерной тепловой нагрузки на систему и устойчивость к окислению. Горячая зона сконструирована исключительно из тугоплавкого вольфрама и тантала, для обеспечения чистой работы в сверхвысоком вакууме даже при самых высоких рабочих температурах. Вольфрамовые нити нагревателя, а также теплозащита на отверстии заменяются локально. Изоляционная керамика (PBN) предназначена только для более холодных областей источника для предотвращения выделения газа во время работы.
Low temperature sources - низкотемпературные источники. Запатентованная система Veeco Corrosive Series Valved Cracker - единственный проверенный источник на рынке, полностью состоящий из PBN. Эта инновационная технология предлагает клапанный контроль потока для реактивных материалов с высоким давлением пара (таких как сурьма и теллур), несовместимых с металлическими тиглями и клапанами традиционных клапанных источников. В конструкции источника используется клапанный узел, тигель и проводящая трубка, изготовленные исключительно из пиролитического нитрида бора (PBN) для защиты от коррозии. Узел клапана является съёмным, что позволяет легко загружать тигель большой ёмкости через проводящую трубку. Тигель нагревается для создания лучевого потока. Расход газа регулируется с помощью клапана PBN, что обеспечивает быструю стабилизацию потока, быстрое отключение и отличную воспроизводимость. В зоне крекинга молекулярный поток может термически расщепляться на более мелкие молекулярные или атомные частицы.
