Высококачественные системы для ионного травления и осаждения, лазерного отжига, молекулярно-лучевой эпитаксии и атомно-слоевого осаждения.
В данном разделе представлены различные системные компоненты, применяемые в процессах молекулярно-лучевой эпитаксии.
Подложкодержатели
Системы нагрева подложек
Блоки питания
Тигли
Интегрированные смотровые окна
Программное обеспечение для контроля процессов
Температурные контроллеры