В данном разделе представлены различные системные компоненты, применяемые в процессах молекулярно-лучевой эпитаксии.
Подложкодержатели
Системы нагрева подложек
Блоки питания
Тигли
Интегрированные смотровые окна
Программное обеспечение для контроля процессов
Температурные контроллеры
